G - Physics – 01 – C
Patent
G - Physics
01
C
G01C 19/56 (2006.01) G01P 9/04 (2006.01)
Patent
CA 2398134
An angular rate sensor device (10) such as a micro-machined vibrating structure gyroscope, comprises a resonator (16), drive means (18), sensing means (20) and associated electronic control means. The resonator (16), drive means (18), sensing means (20) and control means are fabricated from a layer of crystalline silicon (12) having a [100] principal crystal plane. In order to make the resonator (16) operate in this type of material without degrading its performance, the resonator (16) is arranged to be operated by the drive and sensing means (18, 20) under the control of the electronic control means with a vibration mode pair having modal parameters, such as Young's Modulus, matched to provide a consistent resonator response. In particular, the resonator (16) is arranged to be operated with a Sin3.theta./Cos3.theta. vibration mode pair providing degenerate carrier and response parameters.
La présente invention concerne un dispositif détecteur de vitesse angulaire (10) tel qu'un gyroscope à structure vibratoire micro-usiné, qui comprend : un résonateur (16), un moyen d'entraînement (18), un moyen de détection (20) et des moyens de commande électronique associés. Le résonateur (16), le moyen d'entraînement (18), le moyen de détection (20) et les moyens de commande sont fabriqués dans une couche de silicium cristallin (12) possédant un plan de cristal principal. Afin de permettre le fonctionnement du résonateur (16) dans ce type de matériau sans nuire à ses performances, le résonateur (16) est agencé pour être actionné par les moyens d'entraînement et de détection (18, 20) sous le contrôle des moyens de commande électronique dans deux modes de vibration possédant des paramètres modaux, par exemple le module d'élasticité, concordants afin de permettre une réponse de résonateur cohérente. En particulier, le résonateur (16) est conçu pour fonctionner avec deux modes de vibration Sin3.theta./Cos3.theta. offrant des paramètres de porteuse et de réponse dégénérés.
Bae Systems Plc
Fetherstonhaugh & Co.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1443417