C - Chemistry – Metallurgy – 30 – B
Patent
C - Chemistry, Metallurgy
30
B
C30B 33/02 (2006.01)
Patent
CA 2726986
In a method of annealing a Cd1-x Z n x T e sam-ple/wafer, surface contamination is removed from the sam-ple/wafer and the sample/wafer is then introduced into a chamber. The chamber is evacuated and Hydrogen or Deu-terium gas is introduced into the evacuated chamber. The sample/wafer is heated to a suitable annealing temperature in the presence of the Hydrogen or Deuterium gas for a predetermined period of time.
L'invention concerne un procédé de recuit d'un échantillon/plaquette de Cd1-xZnxTe, dans lequel une contamination de surface est supprimée de l'échantillon/plaquette et l'échantillon/plaquette est ensuite introduit dans une chambre. La chambre est mise sous vide et de l'hydrogène ou du deutérium gazeux est introduit dans la chambre mise sous vide. L'échantillon/plaquette est chauffé(e) à une température de recuit adaptée en présence d'hydrogène ou de deutérium gazeux pendant une période de temps prédéterminée.
Chakrabarti Utpal
Prokesch Michael
Szeles Csaba
Goodmans Llp
Ii-Vi Incorporated
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1745361