H - Electricity – 01 – J
Patent
H - Electricity
01
J
H01J 37/32 (2006.01) C23C 14/32 (2006.01) C23C 14/34 (2006.01)
Patent
CA 2476320
An apparatus and technique are provided for generating a plasma using a power supply circuit and arc detection arrangement. The power supply circuit has a cathode enclosed in a chamber, and is adapted to generate a power-related parameter. The arc detection arrangement is communicatively coupled to the power supply circuit and adapted to assess the severity of arcing in the chamber by comparing the power-related parameter to at least one threshold. According to various implementations, arc occurrences, arcing duration, intensity and/or energy are measured responsive to comparing the power-related parameter to the at least one threshold. According to further implementations, the above-mentioned measured quantities are accumulated and/or further processed.
L'invention concerne un appareil et une technique destinés à générer un plasma à l'aide d'un circuit d'alimentation électrique et d'un système de détection d'arc. Le circuit d'alimentation électrique a une cathode enfermée dans une chambre et permet de générer un paramètre lié à la puissance. Le système de détection d'arc est couplé en termes de communication au circuit d'alimentation électrique et permet de déterminer la gravité de la production d'arc électrique dans la chambre par comparaison du paramètre lié à la puissance à au moins un seuil. Selon différentes applications, on mesure l'apparition d'arcs, la durée de production de l'arc électrique, l'intensité et/ou l'énergie en réaction à la comparaison entre le paramètre lié à la puissance et le(s) seuil(s). Selon d'autres applications, les quantités mesurées susmentionnées sont accumulées et/ou davantage traitées.
Fetherstonhaugh & Co.
Schneider Automation Inc.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1347617