H - Electricity – 01 – J
Patent
H - Electricity
01
J
H01J 49/02 (2006.01) H01J 49/10 (2006.01) H01J 49/26 (2006.01)
Patent
CA 2673403
An apparatus for secondary ion mass spectrometry is provided having a target surface for supporting a sample on the target surface and an ion source configured to direct a beam of primary ions toward the sample to sputter secondary ions and neutral particles from the sample, A first chamber having an inlet provides gas to maintain high pressure at the sample for cooling the secondary ions and neutral particles, the high pressure being in the range of about 10-3 to about 1000 Torr. A method of secondary ion mass spectrometry is provided having a target surface for supporting a sample, directing a beam of primary ions toward the sample to sputter secondary ions and neutral particles from the sample, and providing a high pressure at the sample for cooling the secondary ions and neutral particles, the high pressure being in the range of about 10-3 to about 1000 Torr.
L'invention concerne un appareil de spectrométrie de masse à émission d'ions secondaires pourvu d'une surface cible destinée à soutenir un échantillon et d'une source d'ions configurée pour diriger un faisceau d'ions primaires vers l'échantillon pour pulvériser des ions secondaires et des particules neutres à partir de l'échantillon. Une première chambre comportant un orifice d'entrée fournit du gaz pour maintenir une haute pression au niveau de l'échantillon de sorte à refroidir les ions secondaires et les particules neutres, cette haute pression étant comprise entre environ 10-3 et environ 1000 torr. L'invention concerne également un procédé de spectrométrie de masse à émission d'ions secondaires consistant à obtenir une surface cible destinée à soutenir un échantillon; à diriger un faisceau d'ions primaires vers l'échantillon pour pulvériser des ions secondaires et des particules neutres à partir de l'échantillon; et à fournir une haute pression au niveau de l'échantillon pour refroidir les ions secondaires et les particules neutres, cette haute pression étant comprise entre environ 10-3 et environ 1000 torr.
Applied Biosystems (canada) Limited
Bereskin & Parr Llp/s.e.n.c.r.l.,s.r.l.
Doing Business Through Its Sciex Division Mds Analytical Technologies A. Business Unit Of Mds Inc.
Life Technologies Corporation
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1913633