H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 23/58 (2006.01) H01L 23/522 (2006.01)
Patent
CA 2434875
A method and structure that provides a battery (420) within an integrated circuit for providing voltage to low-current electronic devices (900) that exist within the integrated circuit. The method includes Front-End-Of-Line (FEOL) processing for generating a layer of electronic devices (900) on a semiconductor wafer (402), followed by Back-End-Of-Line (BEOL) integration for wires the electronic devices together to form completed electrical circuits of the integrated circuit. The BEOL integration includes forming a multilayered structure of wiring levels on the layer of electronic devices. Each wiring level includes conductive metallization (e.g., metal-plated vias, conductive wiring lines, etc.) embedded in insulative material. The battery (420) is formed during BEOL integration within one or more wiring levels, and the conductive metallization (432,434,442,444) conductively couples positive (424) and negative (422) terminals of the battery to the electronic devices (900). The battery (420) may have several different topologies relative to the structural and geometrical relationships among the battery electrodes and electrolyte. Multiple batteries may be formed within one or more wiring levels, and may be conductively coupled to the electronic devices. The multiple batteries may be connected in series or in parallel.
La présente invention concerne un procédé et une structure qui permet d'obtenir une batterie (420) dans un circuit intégré de façon à fournir une tension à des dispositifs électroniques basse tension (900) présents dans ce circuit intégré. Ce procédé comprend un traitement d'unité de fabrication initiale destiné à générer une couche de dispositifs électroniques (900) sur une plaquette semiconductrice (402), suivi d'une intégration d'unité de fabrication finale destinée à câbler ces dispositifs électroniques entre eux et former des circuits électroniques définitifs de ce circuit intégré. Cette intégration d'unité de fabrication finale consiste à former une structure multicouche de niveaux de câblage sur la couche des dispositifs électroniques. Chaque niveau de câblage comprend une métallisation conductrice (par exemple des trous d'interconnexion plaqués de métal, des fils ce câblage conducteurs, etc.) confinée dans un matériau isolant. Cette batterie (420) est formée pendant l'intégration d'unité de fabrication finale dans un ou plusieurs niveaux de câblage et la métallisation conductrice (432,434,442,444) connecte les bornes positive (424) et négative (422) de cette batterie aux dispositifs électroniques (900). Cette batterie (420) peut posséder plusieurs topologie différentes par rapport aux relations structurelles et géométriques des électrodes et de l'électrolyte de la batterie. On peut former de multiples batteries dans un ou plusieurs niveaux de câblage et on peut les connecter. Cette invention concerne aussi des dispositifs électroniques. Ces multiples batteries peuvent être connectées en série ou en parallèle.
Ballantine Arne
Groves Robert
Lund Jennifer
Nakos James
Rice Michael
International Business Machines Corporation
Saunders Raymond H.
LandOfFree
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