G - Physics – 01 – M
Patent
G - Physics
01
M
G01M 11/02 (2006.01) G01M 11/00 (2006.01)
Patent
CA 2413897
The object of the present invention is to provide apparatuses that enable to enlarge the range of modulation frequencies that modulate the variable wavelength light generated by the light source without prejudice to the measurement of optical characteristics. In order to achieve said object, a modified modulation frequency computing section 44 for computing modified modulation frequencies fi by multiplying by the initial modulation frequency fmin the value obtained by dividing the given phase value .eta. by the phase difference between the first phase.slzero. min_i of the transmitted light resulting from the transmission through the DUT 30 of the incident light of the first wavelength .eta.i modulated by the initial modulation frequency fmin and the second phase .slzero. min_i+1 of the transmitted light resulting from the transmission through the DUT 30 of the incident light of the second wavelength .eta. i+1 modulated by the initial modulation frequency fmin, and a modified modulation frequency setting section 46 for setting the modified modulation frequency fi as the frequency of the modulating signal are included so that the frequencies for modulating the incident light may be wider in range than the initial modulation frequency fmin and that the phase difference between .slzero.i and .slzero.i+1 may be kept at a value equal to or below the given phase value .eta. , and thus the precision of measuring phase differences can be enhanced.
Appareil de mesure de caractéristiques optiques dans lequel la fréquence de modulation d'une lumière à longueur d'onde variable produite par une source de lumière peut être augmentée sans perturber la mesure des caractéristiques optiques. Ledit appareil comporte une partie (44) destinée à déterminer une fréquence de modulation corrigée (fi) par multiplication d'une valeur, obtenue par division d'une valeur de phase spécifique pi par la différence de phase entre la première phase phi min i de lumière incidente ayant une première longueur d'onde lambda 1 modulée à une fréquence de modulation initiale fmin et pénétrant dans un dispositif testé (30) et la seconde phase phi min i+1 de lumière incidente ayant une seconde longueur d'onde lambda i+1 modulée à la fréquence de modulation initiale fmin et pénétrant dans le dispositif testé (30), par la fréquence de modulation initiale fmin, et une partie (46) destinée à fixer la fréquence de modulation corrigée fi en tant que fréquence du signal de modulation. Etant donné que la lumière incidente est modulée à la fréquence de modulation corrigée fi, la fréquence de modulation de la lumière incidente peut être fixée plus élevée que la fréquence de modulation initiale fmin et étant donné que la différence de phase entre phi i et phi i+1 peut être limitée à la plage de la valeur de phase spécifiée pi , la précision de mesure de la différence de phase peut être améliorée.
Kimura Eiji
Nakamura Kenichi
Tomi Takahisa
Advantest Corporation
Gowling Lafleur Henderson Llp
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1806438