Apparatus and methods for surface contour measurement

G - Physics – 01 – B

Patent

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Details

G01B 11/24 (2006.01) G01B 11/25 (2006.01) G01S 5/16 (2006.01)

Patent

CA 2397095

Apparatus and methods of measuring three-dimensional position information of a point on the surface of an object. In one embodiment, the method includes the steps of providing two sources of radiation having a spectral distribution, illuminating the surface with each of the sources to produce a first fringe pattern, moving the first fringe pattern to a second position, generating a first wrapped cycle map, estimating fringe numbers in the first fringe pattern, changing the first fringe pattern, moving the second fringe pattern to a second position, generating a second wrapped cycle map, estimating fringe numbers in the second fringe pattern, and determining position information in response to the estimated fringe numbers in the second fringe pattern and the second wrapped cycle map. In another embodiment the apparatus includes two sources of radiation having a spectral distribution and being coherent with respect to one another, a control system for moving each of the sources relative to each other, a detector positioned at the point on the surface of the object to receive radiation illuminating the point on the surface of the object, and a processor for receiving signals from the detector. The processor calculates position information of the point on the surface of the object in response to the movement of the sources and the radiation received at the point on the surface of the object.

La présente invention concerne un dispositif de mesure de l'information de position tridimensionnelle d'un point sur la surface d'un objet. Selon un mode de réalisation, le procédé se décompose en plusieurs opérations. On commence par disposer de deux sources de rayonnement différant par leur distribution spectrale. On éclaire la surface depuis chacune des sources de façon à obtenir un premier diagramme de franges. On amène en une deuxième position le premier diagramme de franges, ce qui génère une première table de correspondances à boucles de cycles. On détermine le nombre de franges dans le premier diagramme de franges. On modifie le premier diagramme de franges. On amène en une deuxième position le deuxième diagramme de franges. On génère une deuxième table de correspondances à boucles de cycles. On détermine le nombre de franges dans le deuxième diagramme de franges et on détermine l'information de position en réaction au nombre calculé de franges dans le deuxième diagramme de franges et dans la deuxième table de correspondances à boucles de cycles. Selon un autre mode de réalisation, le dispositif comporte deux sources de rayonnement différant par leur distribution spectrale, mais cohérentes l'une par rapport à l'autre, un système de commande permettant de déplacer les sources l'une par rapport à l'autre, un détecteur positionné au point de la surface de l'objet devant recevoir le rayonnement éclairant le point de la surface de l'objet, et un processeur capable de prendre en compte les signaux du détecteur. Le processeur calcule l'information de position du point de la surface de l'objet en réaction au déplacement des sources et au rayonnement reçu au point de la surface de l'objet.

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