C - Chemistry – Metallurgy – 23 – C
Patent
C - Chemistry, Metallurgy
23
C
C23C 16/455 (2006.01) C23C 16/44 (2006.01)
Patent
CA 2754093
The invention provides a process for depositing a coating onto particles being pneumatically transported in a tube. The process com- prising the steps of providing a tube having an inlet opening and an outlet opening; feeding a carrier gas entraining particles into the tube at or near the inlet opening of the tube to create a particle flow through the tube; and injecting a first self-terminating reactant into the tube via at least one in- jection point downstream from the inlet opening of the tube for reaction with the particles in the particle flow. The process is suitable for atomic layer deposition and molecular layer deposition. An apparatus for carrying out the process is also disclosed.
La présente invention a pour objet un procédé pour le dépôt d'un enrobage sur des particules transportées de manière pneumatique dans un tube. Le procédé comprend les étapes consistant à prévoir un tube ayant une ouverture d'entrée et une ouverture de sortie ; à introduire un gaz porteur entraînant les particules dans le tube au niveau ou près de l'ouverture d'entrée du tube pour créer un flux de particules à travers le tube ; et à injecter un premier réactif à auto-terminaison dans le tube par l'intermédiaire d'au moins un point d'injection en aval de l'ouverture d'entrée du tube pour une réaction avec les particules dans le flux de particules. Le procédé est approprié pour le dépôt de couche atomique et le dépôt de couche moléculaire. La présente invention concerne également un appareil pour la mise en uvre du procédé.
Delft University Of Technology
Norton Rose Or S.e.n.c.r.l. S.r.l./llp
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1643601