H - Electricity – 01 – J
Patent
H - Electricity
01
J
H01J 49/16 (2006.01) H01J 49/04 (2006.01)
Patent
CA 2101237
Disclosed is an apparatus which can serve to detect, count, size discriminate and analyze the chemical composition of particles in the air or process gases. In a preferred embodiment, the particles enter via a capillary (4 or 5) into a differentially pumped chamber (6). A pulsed laser (10) which is continuously fired is focused at an opening in the chamber. When the particles come into the path of the laser beam, the particles are fragmented and ionized. A dual time of flight massspectrum is produced, recorded with an oscilloscope (16) and analyzed with a computer (22). The mass spectrum information enables the determination of the chemical nature and concentration of the species of the particles, the particle size and the elemental composition of airborne particles in real time. Once these parameters are determined the source of the particles can be determined and eliminated from the environment and process. Thus, the inventive apparatus is advantageouslyused in conjunction with a facility i.e., a semiconductor manufacturing facility, that requires ultra-clean conditions.
La présente invention a pour objet un appareil utilisé pour détecter, compter, trier en fonction de la taille et analyser la composition chimique de particules en suspension dans l'air ou dans des gaz de transformation. Dans une version préférée de l'invention, les particules pénètrent par un capillaire (4 ou 5) et sont dirigées vers une chambre à pompage différentiel (6). Le faisceau d'un laser à impulsions (10) à émission continue est focalisé sur une ouverture pratiquée dans la chambre. Lorsque les particules traversent la trajectoire du faisceau laser, celles-ci sont fragmentées et ionisées. Un spectre de masse en minuterie double est mesuré, enregistré avec un oscilloscope (16) et analysé par ordinateur (22). Les données concernant le spectre de masse permettent de déterminer en temps réel la nature chimique, la concentration, la taille des particules, ainsi que la composition des éléments en suspension. Une fois ces paramètres déterminés, la source des particules peut être déterminée et éliminée de l'environnement et du procédé en cause. L'invention en question peut donc être utilisée avantageusement dans un contexte industriel exigeant des conditions de propreté extrême, tel celui de la fabrication des semi-conducteurs.
Downey Stephen Ward
Emerson Adrian Bruce
Mujsce Anthony Michael
Muller Amy Jean
Reents William David Jr.
American Telephone And Telegraph Company
Kirby Eades Gale Baker
LandOfFree
Apparatus comprising means for mass spectrometry does not yet have a rating. At this time, there are no reviews or comments for this patent.
If you have personal experience with Apparatus comprising means for mass spectrometry, we encourage you to share that experience with our LandOfFree.com community. Your opinion is very important and Apparatus comprising means for mass spectrometry will most certainly appreciate the feedback.
Profile ID: LFCA-PAI-O-1470126