Apparatus for detecting relative movement

G - Physics – 01 – P

Patent

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G01P 13/00 (2006.01) G01D 5/38 (2006.01) G05D 3/00 (2006.01) G12B 9/04 (2006.01)

Patent

CA 2191329

The apparatus disclosed herein employs a grating (13) which concentrates light at preselected wavelength into the positive (33) and negative (35) first orders while minimizing the zeroth order (31). The grating (13) is illuminated with monochromatic light (15) of the selected wavelength and a poly-phase periodic detector (25) has its sensing plane spaced from the grating a distance less than W/2tan.theta. where .theta. = arcsin (.lambda./P), where W is the width of the illuminated region of the grating. The period of the poly- phase detector is equal to P/2 so that each detector element (51) or phase responds principally to the natural interference (37) between the positive redirection of the diffracted light. Preferably, the distance of the sensing plane from the grating (13) is greater than W/2tan where = arcsin (3.lambda./P) so that the detector response does not include substantial components from diffraction orders higher than the first.

Le dispositif de la présente invention comporte un réseau de diffraction (13) qui concentre la lumière à une longueur d'onde prédéterminée en premiers ordres positifs (33) et négatifs (35) en minimisant l'ordre zéro (31). Le réseau (13) est illuminé par une lumière monochromatique (15) dans la longueur d'onde déterminée, et la surface sensible d'un détecteur périodique multiphase (25) est maintenue à une certaine distance du réseau de diffraction inférieure à W / (2 tan .theta.), où .theta. = arcsin (.lambda./P), W étant la largeur de la région du réseau illuminée. La période du détecteur multiphase est égale à P/2, de façon que chaque élément du détecteur (51) ou chaque phase réagisse principalement à l'interférence naturelle (37) entre le renvoi positif de la lumière diffractée. Dans un mode de réalisation préféré, la distance entre la surface sensible et le réseau (13) est supérieure à W / (2 tan ?), ou ? = arcsin (3 (.lambda./P)) de façon que la réaction du détecteur n'inclue aucune composante provenant des ordres de diffraction supérieurs au premier ?.

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