C - Chemistry – Metallurgy – 23 – C
Patent
C - Chemistry, Metallurgy
23
C
C23C 16/00 (2006.01)
Patent
CA 2563044
An apparatus (10) for coating surfaces of a workpiece (40, 120 and 142) is configured to establish a pressure gradient within internal passageways (44, 46 and 48) through the workpiece, so that the coating within the internal passageways exhibits intended characteristics, such as those relating to smoothness or hardness. The coating apparatus may include any or all of a number of cooperative systems, including a plasma generation system (12), a manipulable workpiece support system (34, 90 and 122), an ionization excitation system (66 and 116) configured to increase ionization within or around the workpiece, a biasing system (52) for applying a selected voltage pattern to the workpiece, and a two-chamber system (96 and 98) that enables the plasma generation to take place at a first selected pressure and the deposition to occur at a second selected pressure.
L'invention concerne un appareil (10) permettant de revêtir des surfaces d'une pièce à usiner (40, 120 et 142) et conçu de manière à établir un gradient de pression dans des passages internes (44, 46 et 48) dans la pièce à usiner, de manière que le revêtement dans les passages internes présente des caractéristiques souhaitées, telles que celles relatives au caractère lisse ou à la dureté. L'appareil de revêtement peut également comprendre un ou plusieurs systèmes coopératifs, notamment un système de génération de plasma (12), un système de support de pièce à usiner manipulable (34, 90 et 122), un système d'excitation d'ionisation (66 et 116) conçu pour accroître l'ionisation à l'intérieur ou autour de la pièce à usiner, un système de polarisation (52) permettant d'appliquer un motif de tension sélectionné sur la pièce à usiner et un système à deux chambres (96 et 98) permettant de générer du plasma à une première pression sélectionnée et d'effectuer le dépôt à une seconde pression sélectionnée.
Boardman William John
Mercado Raul Donate
Tudhope Andrew William
Smart & Biggar
Sub-One Technology Inc.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1987158