Apparatus for fast detection of x-rays

Details Apparatus for fast detection of x-rays Apparatus for fast detection of x-rays

G - Physics

01

N

G01N 23/20 (2006.01)

Patent

CA 2394360

This invention relates to the field of X-ray inspection systems and more particularly to those that use X-ray diffraction to analyse an object under inspection. Essential to prior art diffraction systems employing angular dispersion is the provision of a monochromatic incident X-ray beam. Conventionally, this is provided by filtering out the desired spectral peak from a polychromatic or quasi-monochromatic X-ray beam by means of the balanced filter technique. There are disadvantages to this technique in that it requires two diffraction images to be subtracted form one another in order to get the desired spectral peak. This results in beam attenuation and data of poor statistical quality. The invention proposes the use of an array of semiconductor detector elements and associated electronics which are capable of extracting an essentially monochromatic diffraction pattern from scattered polychromatic or quasi-monochromatic X-rays.

L'invention concerne le domaine des systèmes de détection par rayons X, et plus particulièrement de ceux qui utilisent la diffraction des rayons X pour analyser un objet à inspecter. La diffraction des rayons X a longtemps été utilisée comme aide à l'analyse structurelle et l'information donnée par un matériau diffractant s'appuie généralement sur l'un des deux principes que sont la dispersion d'énergie et la dispersion angulaire. Un point essentiel dans les systèmes de diffraction utilisés jusqu'à présent et employant la dispersion angulaire est l'existence d'un faisceau de rayons X à incidence monochromatique. Habituellement, on l'obtient en filtrant la crête spectrale voulue à partir d'un faisceau de rayons X polychromatique ou quasi-monochromatique en appliquant la technique de filtre équilibré. Cette technique présente toutefois des inconvénients, car elle requiert deux images de diffraction qui doivent être soustraites l'une de l'autre pour obtenir la crête spectrale voulue. Ceci se traduit par un affaiblissement du faisceau et par des données de faible qualité statistique. L'invention vise à utiliser un système d'éléments de détection à semi-conducteur et de composants électroniques associés, capables d'extraire un motif de diffraction sensiblement monochromatique de rayons X diffusés polychromatiques ou quasi-monochromatiques.

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