G - Physics – 03 – F
Patent
G - Physics
03
F
G03F 7/20 (2006.01) G02B 26/12 (2006.01) G02B 27/10 (2006.01)
Patent
CA 2397692
An apparatus for generating a pattern on a photomask includes a beam generator generating a row of spaced apart optical beams, a blocking element downstream from the beam generator in a path of at least one of the optical beams, and a refracting element downstream from the blocking element for aligning optical beams closer together and while leaving an enlarged beam spacing downstream from the at least one blocked optical beam. The apparatus includes a modulator downstream from the refracting element for defining the pattern to be generated on the photomask, and generates the row of spaced apart optical beams with an enlarged beam spacing between the two central beams without using high precision mirrors that are expensive to produce and requires precise alignment with respect to one another.
L'invention concerne un appareil permettant de produire un motif sur un masque photographique. Cet appareil comprend un générateur de faisceaux produisant une rangée de faisceaux optiques espacés les uns des autres, un élément de blocage disposé en aval du générateur de faisceaux, dans le trajet d'au moins un des faisceaux optiques ainsi qu'un élément de réfraction situé en aval de l'élément de blocage et destiné à aligner les faisceaux optiques de manière à ce qu'ils soient plus proches les uns des autres, tout en laissant un espacement de faisceau élargi en aval, à partir du faisceau optique bloqué. L'appareil comprend un modulateur placé en aval à partir de l'élément de réfraction permettant de définir le motif à produire sur le masque photographique et produit une rangée de faisceaux optiques espacés les uns des autres, un espacement élargi de faisceaux séparant les deux faisceaux centraux, sans nécessiter l'utilisation de miroirs à haute précision dont la fabrication est onéreuse et qui nécessitent un alignement précis les uns par rapport aux autres.
Burberry Lee
Montgomery Robert
Harris Corporation
Oldham Edward H.
LandOfFree
Apparatus for generating a laser pattern on a photomask and... does not yet have a rating. At this time, there are no reviews or comments for this patent.
If you have personal experience with Apparatus for generating a laser pattern on a photomask and..., we encourage you to share that experience with our LandOfFree.com community. Your opinion is very important and Apparatus for generating a laser pattern on a photomask and... will most certainly appreciate the feedback.
Profile ID: LFCA-PAI-O-2007326