C - Chemistry – Metallurgy – 30 – B
Patent
C - Chemistry, Metallurgy
30
B
C30B 25/02 (2006.01) H01L 39/24 (2006.01)
Patent
CA 2201905
The methods and apparatus disclosed enable controlled growth of multicomponent metal oxide thin films, including high temperature superconducting (HTS) thin films, which are uniform and reproducible. The method and apparatus enable a controlled flow and pressure of a gaseous phase of metal containing molecules to be introduced into a reaction chamber, or into an analysis chamber, or into both. The flow into the reaction chamber enables deposition of metal oxides on a substrate and, therefore, growth of multicomponent metal oxide thin films, including HTS thin films, on the substrate. The flow into the analysis chamber enables compositional analysis of the gas. The apparatus also allows adjustment of the gaseous phase flow and pressure into the reaction chamber based upon the results of the compositional analysis. In one aspect of this invention, a heating mantle provides substantially uniform heating throughout the apparatus.
Le procédé et l'appareil décrits permettent une croissance contrôlée de couches minces d'oxydes métalliques à composants multiples, en particulier de couches minces supraconductrices à haute température, qui sont uniformes et reproductibles. Le procédé et l'appareil permettent de contrôler l'écoulement et la pression de la phase gazeuse des molécules contenant du métal à introduire dans la chambre de réaction, dans une chambre d'analyse, ou dans les deux. L'écoulement dans la chambre de réaction permet de déposer les oxydes métalliques sur un substrat et assure donc la croissance sur le substrat de couches minces d'oxydes métalliques à composants multiples, en particulier les couches supraconductrices à haute température. L'écoulement vers la chambre d'analyse permet l'analyse de la composition des gaz. L'appareil permet également l'ajustement de l'écoulement de la phase gazeuse et de la pression dans la chambre de réaction, en fonction des résultats de l'analyse de la composition. Selon un aspect de cette invention, une enveloppe chauffante assure un chauffage sensiblement uniforme dans tout l'appareil.
Denbaars Steven P.
Nilsson Boo J. L.
Smith Eric Jeffrey
Smart & Biggar
Superconductor Technologies Inc.
LandOfFree
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