G - Physics – 01 – B
Patent
G - Physics
01
B
G01B 7/28 (2006.01) G11B 9/00 (2006.01)
Patent
CA 2231224
A machining, recording, and reproducing apparatus using a scanning probe microscope comprising: a probe equipped with a probe tip at its front end, a vibration application portion consisting of a piezoelectric vibrating body and an AC voltage-generating portion, a vibration-detecting portion consisting of a quartz oscillator and a current/voltage amplifier circuit, a coarse displacement means for bringing the probe close to a surface of a sample, a sample-to-probe distance control means consisting of a Z fine displacement element and a Z servo circuit, a two-dimensional scanning means consisting of an XY fine displacement element and an XY scanning circuit, and a data-processing means for converting a measurement signal into a three-dimensional image. The probe is held to the quartz oscillator by spring pressure of a resilient body.
Dispositif d'usinage, d'enregistrement et de reproduction utilisant un microscope à balayage comprenant : un capteur doté d'une pointe de mesure, une partie d'application de vibration consistant en un corps vibratoire piézoélectrique et en une partie génératrice de tension c.a., un moyen de détection de vibration consistant en un oscillateur à quartz et un circuit amplificateur de courant/tension, un moyen de déplacement grossier pour amener le capteur à guide optique près de la surface d'un échantillon, un moyen de commande de la distance échantillon-capteur composé d'un élément de réglage fin de déplacement sur l'axe Z et d'un circuit de servo-commande d'axe Z, un moyen de balayage bidimensionnel composé d'un élément de réglage fin de déplacement sur les axes X et Y et d'un circuit de balayage sur les axes X et Y, et un moyen de traitement de données pour convertir un signal de mesure en une image tridimensionnelle. Le capteur tient à l'oscillateur à quartz par la pression d'un ressort appliquée au moyen d'un corps élastique.
Borden Ladner Gervais Llp
Seiko Instruments Inc.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1611472