G - Physics – 01 – R
Patent
G - Physics
01
R
G01R 31/26 (2006.01) G01R 31/265 (2006.01) H01L 21/66 (2006.01) G01R 31/28 (2006.01)
Patent
CA 2302304
An apparatus (30) for determining the minority carrier lifetime of a semiconductor sample (32) includes a positioner for moving the sample relative to a coil (44). The coil (44) is connected to a bridge circuit (42) such that the impedance of one arm of the bridge circuit (42) is varied as sample is positioned relative to the coil (44). The sample (32) is positioned relative to the coil (44) such that any change in the photoconductance of the sample (32) created by illumination of the sample (32) creates a linearly related change in the input impedance of the bridge circuit (42). In addition, the apparatus (30) is calibrated to work at a fixed frequency so that the apparatus (30) maintains a consistently high sensitivity and high linearly for samples of different sizes, shapes, and material properties. When a light source (34) illuminates the sample (32), the impedance of the bridge circuit (42) is altered as excess carriers are generated in the sample (32), thereby producing a measurable signal indicative of the minority carrier lifetimes or recombination rates of the sample (32).
L'invention concerne un appareil (30) permettant de déterminer la durée de vie des porteurs minoritaires d'un échantillon semiconducteur (32), cet appareil comprenant un dispositif de positionnement destiné à déplacer ledit échantillon par rapport à une bobine (44). Cette bobine (44) est reliée à un montage en pont (42), de sorte que l'impédance de l'un des bras de ce montage en pont (42) varie selon la position dudit échantillon par rapport à la bobine (44). Cet échantillon (32) est placé par rapport à cette bobine (44) de manière à ce que tout changement de la photoconduction de cet échantillon (32), du à l'éclairage de ce dernier, engendre une modification en relation linéaire avec l'impédance d'entrée du montage en pont (42). En outre, cet appareil (30) est réglé de manière à pouvoir fonctionner sur une fréquence fixe, afin que les échantillons de diverses tailles, formes, et propriétés matérielles, puissent conserver une sensibilité et une linéarité relativement élevées. Lorsqu'une source lumineuse (34) éclaire ledit échantillon (32), l'impédance du montage en pont (42) subit une modification en raison de l'excès de porteurs généré dans cet échantillon (32), produisant ainsi un signal destiné à être mesuré pour indiquer la durée de vie des porteurs minoritaires ou la vitesse de recombinaison dudit échantillon (32).
Finlayson & Singlehurst
Midwest Research Institute
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1825934