H - Electricity – 05 – H
Patent
H - Electricity
05
H
H05H 1/24 (2006.01) H01J 37/32 (2006.01)
Patent
CA 2376015
A plasma treatment apparatus for a workpiece includes a metal electrode (11), a capillary dielectric electrode (12) having first and second sides and coupled to the metal electrode through the first side, wherein the capillary dielectric electrode has at least one capillary, a shield body (13) surrounding the metal electrode and the first side of the capillary dielectric electrode, wherein the shield body has first and second end portions, and a gas supplier (14) provinding gas to the metal electrode (11).
L'invention porte sur un appareil de traitement au plasma de pièces à usiner comportant une électrode métallique (11), et une électrode diélectrique (12) capillaire présentant un premier et un deuxième côté et reliée à l'électrode métallique (11) par son premier côté. L'électrode diélectrique capillaire comporte: au moins un tube capillaire; un blindage (13) entourant l'électrode métallique et le premier côté de l'électrode diélectrique capillaire, ledit blindage présentant une première et une deuxième extrémité; et une amenée (14) de gaz alimentant l'électrode métallique.
Gowling Lafleur Henderson Llp
Plasmion Corporation
LandOfFree
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