Architecture of a reflective spatial light modulator

G - Physics – 09 – G

Patent

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Details

G09G 3/34 (2006.01) G02B 26/00 (2006.01) G02B 26/08 (2006.01) G09G 5/00 (2006.01)

Patent

CA 2472350

The invention is a spatial light modulator (100) having selectively reflective deflectable micro mirror array (103) plates (202) fabricated from a first substrate (105). On another substrate there is addressing and control circuitry (106) for the micro mirror array (103), which allows the control circuitry (106) to control a voltage applied to selected electrodes (126) associated with the micro mirror plates (204). Typically, the control circuitry (106) includes a display control (108), line memory buffers (110), a pulse width modulation array (112), and inputs for video signals (120) and graphic signals (122). The mirror array substrate (105) further has a spacer support frame (210) and hinges (206), wherein when an electrostatic force is applied to the micro mirror array plates (204), the hinges attached thereto allow the mirror plates (204) to rotate relative to the spacer support frame (210). This rotation produces the angular deflection for the reflecting light in a selected direction. The first and second substrate are bonded together.

L'invention concerne un modulateur optique (100) spatial comportant des plaques (202) pourvues d'un groupement de micromiroirs (103) sélectivement réfléchissants et pouvant être défléchis, fabriquées à partir d'un premier substrat (105). Sur un autre substrat est prévu un circuit de commande (106) et d'adressage du groupement de micromiroirs (103), ce circuit (106) permettant de commander une tension appliquée à des électrodes (126) sélectionnées associées à des plaques micromiroirs (204). Le circuit de commande (106) comprend généralement une commande d'affichage (108), des tampons de mémoire (110) de ligne, une matrice (112) modulation d'impulsions en durée, et des entrées pour signaux vidéo (120) et signaux graphiques (122). Le substrat (105) du groupement de micromiroirs comporte en outre une structure support (210) d'espacement et des charnières (206), de sorte que lorsqu'une force électrostatique est appliquée sur les plaques (204) à groupement de micromiroirs, les charnières qui sont fixées à celles-ci permettent auxdites plaques (204) de tourner par rapport à la structure support (210) d'espacement. Cette rotation produit une déflexion angulaire de la lumière réfléchie dans une direction sélectionnée. Les premier et deuxième substrats sont liés l'un à l'autre.

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