Array and cantilever array leveling

G - Physics – 03 – F

Patent

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Details

G03F 7/00 (2006.01) G03F 9/00 (2006.01)

Patent

CA 2714005

Faster and better methods for leveling arrays including software and user interface for instruments. A method comprising: (i) providing at least one array of cantilevers supported by at least one support structure, (ii) providing at least one substrate, (iii) providing at least one instrument to control the position of the array with respect to the substrate, (iv) leveling the array with respect to the substrate, wherein the leveling is performed via a user interface on the instrument which is adapted to have the user input positional information from the motors and piezoelectric extender when at least one cantilever deflects from the substrate. Uniform z-displacements can be achieved.

Cette invention se rapporte à des procédés plus rapides et meilleurs destinés à mettre à niveau des réseaux comprenant un logiciel et une interface utilisateur pour des instruments. Cette invention se rapporte à un procédé qui comprend les étapes consistant à : (i) fournir au moins un réseau de cantilevers supportés par au moins une structure de support, (ii) fournir au moins un substrat, (iii) fournir au moins un instrument pour contrôler la position du réseau par rapport au substrat, (iv) mettre à niveau le réseau par rapport au substrat, la mise à niveau étant exécutée par l'intermédiaire d'une interface utilisateur sur l'instrument adapté pour que lutilisateur entre des informations de position en provenance de moteurs et d'une jauge de contrainte piézoélectrique quand au moins un cantilever dévie du substrat. Il est possible d'obtenir des déplacements en z uniformes.

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