G - Physics – 02 – F
Patent
G - Physics
02
F
G02F 1/19 (2006.01) G02B 26/08 (2006.01) H01L 41/09 (2006.01) H04N 5/74 (2006.01) H04N 9/30 (2006.01) H04N 9/31 (2006.01)
Patent
CA 2176347
An array of M x N thin film actuated mirrors (51) for use in am optical projection system comprises an active matrix, an array of M x N thin film actuating structures, each of the thin film actuating structures being provided with a first and a second actuating parts (62a, 62b), each of the first and second actuating parts including at least a thin film layer (67) of a motion-inducing material, a pair of electrodes (70, 71), each of the electrodes being provided on top and bottom of the motion-inducing thin film layer, an array of M x N supporting members (56), each of the supporting members (56) being used for holding each of the actuating structures in place by cantilevering each of the actuating structures and also for electrically connecting each of the actuating structures and the active matrix, and an array of M x N mirror layers for reflecting light beams, each of the mirror layers further including a first side, a second opposing side and a center portion located therebetween, wherein the first side and the second opposited side of each of the mirror layers are secured on top of the first and second actuating parts (62a, 62b) of each of the actuating structures, respectively, such that when the first and second actuating parts (62a 62b) in each of the actuating structures deform in response to an electrical signal applied between the first and second electrodes (70, 71), the center portion of the corresponding mirror layer tilts while remaining planar, thereby allowing all of the center portion to reflect the light beams, resulting in an increased optical efficiency,
Réseau de M x N miroirs (51) actionnés par couches minces, utilisable dans un système de projection optique. Le réseau comporte une matrice active, un réseau de M x N structures d'actionnement à couches minces, dont chacune est pourvue d'une première et d'une seconde partie d'actionnement (62a, 62b) comportant au moins une couche mince (67) en matière d'induction de mouvement, une paire d'électrodes (70, 71) prévues respectivement en dessus et en dessous de la couche mince d'induction de mouvement, un réseau de M x N éléments porteurs (56) dont chacun sert à maintenir en place par effet porte-à-faux chacune des structures d'actionnement, ainsi qu'à relier électriquement chaque structure d'actionnement à la matrice active, et un réseau de M x N couches à miroir servant à réfléchir les faisceaux lumineux, chacune des couches à miroir étant dotée d'une première face, d'une seconde face opposée et d'une partie centrale intermédiaire, et la première face et la seconde face opposée de chacune des couches à miroir étant respectivement solidaires de la face supérieure des première et seconde parties d'actionnement (62a, 62b) de chacune des structures d'actionnement. Par conséquent, lorsque les première et seconde parties d'actionnement (62a, 62b) de chacune des structures d'actionnement se déforment en réponse à un signal électrique appliqué entre les première et seconde électrodes (70, 71), la partie centrale de la couche à miroir correspondante s'incline tout en demeurant plane de manière à permettre à la totalité de ladite partie centrale de réfléchir les faisceaux lumineux, ce qui entraîne une augmentation du rendement optique.
Kim Myoung Jin
Min Yong Ki
Cassan Maclean
Daewoo Electronics Co. Ltd.
LandOfFree
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