H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 21/44 (2006.01) H01L 21/48 (2006.01)
Patent
CA 2563775
An ultrasonic transducer comprises a stack having a first face, an opposed second face and a longitudinal axis extending therebetween. The stack comprises a plurality of layers, each layer having a top surface and an opposed bottom surface, wherein the plurality of layers of the stack comprises a piezoelectric layer and a dielectric layer. The dielectric layer is connected to the piezoelectric layer and defines an opening extending a second predetermined length in a direction substantially parallel to the axis of the stack. A plurality of first kerf slots are defined therein the stack, each first kerf slot extending a predetermined depth therein the stack and a first predetermined length in a direction substantially parallel to the axis. The first predetermined length of each first kerf slot is at least as long as the second predetermined length of the opening defined by the dielectric layer and is shorter than the longitudinal distance between the first face and the opposed second face of the stack in a lengthwise direction substantially parallel to the axis.
L'invention concerne un transducteur ultrasonique comportant une pile présentant une première face, une deuxième face opposée et un axe longitudinal s'étendant entre ces faces. La pile comporte une pluralité de couches, chaque couche présentant une surface supérieure et une surface de base opposée, ladite pluralité de couches de la pile comportant une couche piézo-électrique et une couche diélectrique. La couche diélectrique est connectée à la couche piézo-électrique et définit une ouverture s'étendant sur une deuxième longueur prédéterminée dans une direction essentiellement parallèle à l'axe de la pile. Une pluralité de premières entailles est définie dans la pile, chaque entaille s'étendant sur une profondeur prédéterminée dans la pile et sur une première longueur prédéterminée dans une direction essentiellement parallèle à l'axe. La première longueur prédéterminée de chaque entaille est au moins aussi grande que la deuxième longueur prédéterminée de l'ouverture définie par la couche diélectrique, et inférieure à la distance longitudinale entre la première face et la deuxième face opposée de la pile, dans une direction longitudinale essentiellement parallèle à l'axe.
Foster Stuart F.
Lukacs Marc
Gowling Lafleur Henderson Llp
Sunnybrook And Women's College Health Sciences Centre
Visualsonics Inc.
LandOfFree
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