Automatic calibration system for wafer transfer robot

Details Automatic calibration system for wafer transfer robot Automatic calibration system for wafer transfer robot

B - Operations, Transporting

25

J

B25J 9/10 (2006.01) H01L 21/677 (2006.01) H01L 21/68 (2006.01)

Patent

CA 2302794

A system for automatically calibrating a semiconductor wafer handling robot so that the robot will move wafers into and out of precise locations within enclosures that form process stations or storage cassettes is disclosed. The system comprises a controller having memory and logic sections connected to a robot having an articulated arm that is movable in vertical (Z), horizontal (e), and radial (R) directions and having a wafer retaining wand at the end of the arm. Dimensional characteristics of the robot wand and the enclosures are stored in the controller memory. Sensors are provided at each enclosure and/or the robot wand which are activated and provide signals to the controller that are relative to the wand position. The robot is programmed to execute a series of progressive movements at each enclosure location which are controlled by a combination of sensor response signals and the appropriate dimensional characteristics. At the end of the programmed movements, the robot wand is positioned within a process station or cassette so that it can engage for removal or release a wafer therein at a precise predetermined location.

Système d'étalonnage automatique pour robot de transfert de plaquettes des semi-conducteurs de sorte que le robot déplace les plaquettes à l'intérieur et à l'extérieur d'endroits précis dans des enceintes qui forment les stations de traitement ou des cassettes de stockage. Le système comprend un contrôleur dont les sections de mémoire et de logique sont reliées à un robot pourvu d'un bras articulé qui est mobile à la verticale (Z), à l'horizontale (e) et à la diagonale (R) et ayant une baguette de retenue de plaquette à l'extrémité du bras. Les caractéristiques dimensionnelles de la baguette du robot et des enceintes sont stockées dans la mémoire du contrôleur. Des capteurs, prévus à chaque enceinte et/ou baguette du robot, sont activés et fournissent des signaux au robot qui sont relatifs à la position de la baguette. Le robot est programmé pour exécuter une série de mouvements progressifs à chaque emplacement d'enceinte qui sont contrôlés par une combinaison de signaux réponse de capteur et les caractéristiques dimensionnelles appropriées. € la fin des mouvements programmés, la baguette du robot est positionnée dans une station de traitement ou une cassette de sorte qu'elle puisse s'engager pour le retrait ou la libération d'une plaquette qui se trouve à un endroit précis prédéterminé.

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