Beam deflector and scanner

G - Physics – 02 – F

Patent

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Details

G02F 1/13 (2006.01) G02B 5/04 (2006.01) G02B 26/00 (2006.01) G02F 1/03 (2006.01) G02F 1/29 (2006.01) G02F 1/1333 (2006.01) G02F 1/1335 (2006.01) G02F 1/141 (2006.01)

Patent

CA 2341424

A beam deflector (40) comprising a pair of mated microprism arrays (42 and 48) with one of the arrays comprised of a variable refractive index material (48) capable of being selectively changed in response to a field whose magnitude or intensity is regulated by regulating voltage applied. The other array (42) preferably is comprised of a material having a constant refractive index. A conductive layer (102 and 104 and 82) is disposed on both sides of the variable refractive index array. A pane (68 and 70) preferably is disposed in front and behind the arrays. Two pairs of the arrays can be arranged parallel to each other with their microprisms generally perpendicular forming a two-dimensional deflector. To achieve a deflection response time faster than 100 microseconds, each prism has a height no larger than about 20 micrometers and a width preferably no greater than about 100 micrometers. Preferably, each prism height is less than about 15 to about 10 micrometers to achieve a response time 30 microseconds or faster. A method of making the deflector includes using direct-write electron beam lithography to make a master for replicating arrays having a height of 10 micrometers or less. A pair of deflectors can be used to deflect a beam in two dimensions and can be used in a scanner. Where the beam is a laser, the deflector can be used in a laser imaging radar assembly. Such a scanner and laser imaging radar assembly provide fast scanning of an object or region advantageously without requiring the deflector to move during scanning.

L'invention concerne un déflecteur de faisceau (40) comprenant deux réseaux de microprismes connectés (42 et 48), l'un d'eux consistant en un matériau d'indice de réfraction variable (48) modulable en fonction d'un champ dont l'amplitude ou l'intensité est régulée par action sur la tension appliquée. De préférence, l'autre réseau (42) consiste en un matériau d'indice de réfraction constant. Une couche conductrice (102, 104 et 82) est placée des deux côtés du réseau d'indice de réfraction variable. De préférence, un panneau (68 et 70) est placé devant et derrière les réseaux. Deux paires de ces réseaux peuvent être placées en parallèle, leurs microprismes étant généralement perpendiculaires de façon à former un déflecteur à deux dimensions. Pour obtenir un temps de réponse de déviation inférieur à 100 microsecondes environ, chaque prisme a une hauteur ne dépassant pas 20 micromètres environ et une largeur ne dépassant pas, de préférence, 100 micromètres environ. De préférence, chaque hauteur de prisme est inférieure à 15 à 10 micromètres environ pour obtenir un temps de réponse de 30 microsecondes ou plus court. Pour fabriquer le déflecteur on utilise un procédé de lithogravure pour faisceau électronique à inscription directe de façon à réaliser un original permettant de faire la réplique de réseaux dont la hauteur n'excède pas 10 micromètres. Une paire de déflecteurs peut être utilisée pour dévier un faisceau en deux dimensions et servir dans un détecteur à balayage. Si le faisceau est un laser, le déflecteur peut être utilisé dans un ensemble à radar pour imagerie laser. Ces types de détecteur à balayage et d'ensemble permettent un balayage rapide d'un objet ou d'une région de manière avantageuse sans nécessiter le déplacement du déflecteur pendant le balayage.

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