G - Physics – 02 – B
Patent
G - Physics
02
B
G02B 6/35 (2006.01) G02B 26/08 (2006.01)
Patent
CA 2514611
A bi-stable micro-actuator is formed from a first and a second silicon-on- insulator wafer fused together at an electrical contact layer. A cover with a V-groove defines an optical axis. A collimated optical signal source in the V- groove couples an optical signal to an optical port in the V-groove. A mirror surface on a transfer member blocks or reflects the optical signal. The transfer member has a point of support at the first and second end. An expandable structure applies a compressive force between the first and second point of support of the transfer member along a compressive axis to hold the transfer member in a bowed first state or a bowed second state. A control signal applied to a heating element in the expandable structure reduces the compressive force, switching the transfer member to a second state.
L'invention concerne un micro-actionneur bistable constitué d'une première et d'une plaquette silicium sur isolant fusionnées sur une couche de contact électrique. Un revêtement à rainure en V définit un axe optique. Une source de signal optique, collamitée dans la rainure en V, couple un signal optique à un port optique dans la rainure en V. Une surface miroir placée sur un élément de transfert bloque ou réfléchit le signal optique. L'élément de transfert présente un point de support sur sa première et seconde extrémité. Le miroir bloque ou réfléchit l'axe optique. Une structure extensible applique une force de compression entre le premier et le second point de support de l'élément de transfert, le long d'un axe de compression, ce qui permet de maintenir l'élément de transfert dans un premier état courbé et dans un second état courbé. Un signal de commande appliqué à un élément de chauffage dans la structure extensible réduit la force de compression, ce qui déclenche le second état de l'élément de transfert.
Cherbettchian Agop H.
Fersht Samuel
Hall David B.
Stewart Robert E.
Borden Ladner Gervais Llp
Northrop Grumman Corporation
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1611590