F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons – 17 – D
Patent
F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons
17
D
F17D 1/02 (2006.01) F16K 11/22 (2006.01)
Patent
CA 2134425
The present invention relates to a block valve with tank chamber capable of discharging promptly and smoothly the residual gas in gas feed pipings in a semiconductor manufacturing apparatus or the like, especially in pipings in which block valves are incorporated. The block valve with tank chamber comprises a gas feed passage possessing an inlet and an outlet, a branch passage possessing an outlet branched off from and communicating with the gas feed passage, a body having a tank chamber formed in the midst of the branch passage, a first valve provided in the body for opening and closing the downstream side of the gas feed passage downstream of the connection point with the branch passage, and a second valve provided in the body for opening and closing the branch passage upstream of the tank chamber.
Vanne de sectionnement pourvue d'un réservoir capable de déverser promptement et sans à-coups du gaz résiduel dans les tuyaux d'alimentation en gaz (particulièrement ceux comprenant des vannes de sectionnement intégrées) d'un appareil de production de semi-conducteurs ou d'appareils similaires. Cette vanne de sectionnement pourvue d'un réservoir comprend : un passage d'alimentation en gaz présentant une entrée et une sortie; un passage secondaire, présentant une sortie, qui est rattaché au passage d'alimentation en gaz et qui communique avec lui; un corps, comprenant un réservoir, qui est formé au milieu du passage secondaire; une première vanne dans le corps qui ouvre et ferme la partie en aval du passage d'alimentation en aval du point de raccordement avec le passage secondaire; une seconde vanne dans le corps qui ouvre et ferme le passage secondaire en amont du réservoir.
Kiyohara Masako
Riches Mckenzie & Herbert Llp
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1875949