C - Chemistry – Metallurgy – 23 – C
Patent
C - Chemistry, Metallurgy
23
C
C23C 16/448 (2006.01)
Patent
CA 2566944
A bubbler chamber assembly comprising one chamber or two or more chambers connected in series, all chambers being in substantially vertical orientation. A solid or liquid source of the compound is contained in the chamber or chambers. The ratio between the length of the chamber or combined length of chambers connected in series with respect to the direction of flow of the carrier gas through the chamber or chambers and the average diameter equivalent of the cross section of the chamber or chambers with respect to the direction of flow of the carrier gas through the chamber or chambers is not less than about 6:1.
L'invention concerne un ensemble de chambre de bulleur comprenant une chambre ou deux ou plusieurs chambres connectées en série, toutes les chambres étant orientées de manière sensiblement verticale. Une source solide ou liquide du composé est renfermée dans la ou les chambres. Le rapport entre la longueur de la chambre ou la longueur combinée des chambres connectées en série par rapport à la direction d'écoulement du gaz vecteur dans la ou les chambre et le diamètre moyen équivalent de la section transversale de la ou les chambres par rapport à la direction d'écoulement du gaz vecteur dans la ou les chambres n'est pas inférieur à environ 6:1.
Deavenport Dennis Leon
El-Zein Nada
Ko Taeho
Tran Nam Hung
Akzo Novel N.v.
Ogilvy Renault Llp/s.e.n.c.r.l.,s.r.l.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1756566