Bulk silicon mirrors with hinges underneath

G - Physics – 02 – B

Patent

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Details

G02B 7/182 (2006.01) G02B 26/08 (2006.01)

Patent

CA 2487819

A MEMS apparatus (100) comprises a bulk element (110), first and second hinges (121, 122), and a support (130). The bulk element (110) has a top and a bottom surface (112, 111), and the hinges are disposed below the top surface (112).

L'invention concerne un procédé et un appareil de fabrication d'un appareil MEMS (système électromécanique) possédant un élément en volume doté de charnières ventrales. Ledit élément en volume peut comprendre un silicium monocristallin fabriqué par des techniques de micro-usinage en volume. Les charnières peuvent être formées de couches minces obtenues par des techniques de micro-usinage de surface. Une caractéristique de l'appareil MEMS de l'invention consiste en ce que, par la disposition des charnières sur la partie ventrale de l'élément en volume, la surface dudit élément peut être maximisée et la surface globale devient utilisable (par exemple pour la manipulation de faisceau optique). Ladite caractéristique est très avantageuse dans la fabrication de dispositifs MEMS, tels qu'un réseau de miroirs MEMS à facteur de remplissage optique élevé. De plus, par l'utilisation avantageuse à la fois des techniques de micro-usinage en volume et de surface, un miroir ainsi produit est équipé d'un grand miroir plat ainsi que de charnières, ce qui permet l'obtention d'une plage de rotation conséquente avec des tensions de commande électrostatique faibles.

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