F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons – 23 – D
Patent
F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons
23
D
F23D 14/14 (2006.01) C03B 19/06 (2006.01) C03B 19/14 (2006.01) C03B 23/047 (2006.01) C03B 37/014 (2006.01) C23C 16/453 (2006.01) F23D 14/22 (2006.01) F23D 14/52 (2006.01) F23D 14/58 (2006.01)
Patent
CA 2355941
A burner manifold apparatus (10) for delivering reactants to a combustion site of a chemical vapor deposition process includes fluid inlets (32a, 32b), fluid outlets (49), and a plurality of fluid passages (50) extending therebetween. The fluid passages (50) converge toward each other from the fluid inlets to the fluid outlets. One embodiment includes a manifold base (12), a pressure plate (14), and a manifold burner mount (16) for mounting thereto a micromachined burner (58). The fluid passages (50) internal to the manifold base are configured to distribute symmetrically the fluid to the manifold burner mount. The fluid is then channeled through fluid passages in the manifold burner mount. The fluid passages converge, yet remain fluidly isolated from each other, and the fluid passages create a linear array for producing linear streams of fluid. Alternatively, the burner manifold apparatus may include a plurality of manifold elements in a stacked arrangement. In this alternative embodiment, the manifold elements are configured to produce a linear array of fluid passages at the top of the stack, increasing the number of fluid passages at each level of the stack closer to the top. As yet a further alternative, the burner manifold may be produced by extruding a particulate composite through a die to produce a manifold having fluid passages therein. This extruded manifold generally has a tapered section to which a burner may be mounted.
Ce collecteur pour brûleur (10), destiné à alimenter en corps réagissants un site de combustion d'un équipement de dépôt chimique en phase vapeur, comprend des orifices d'entrée (32a, 32b) et de sortie (49) de fluides et plusieurs voies de passage pour fluide (50) s'étendant entre ces orifices. Ces voies de passage convergent les unes vers les autres à partir des orifices d'entrée et en direction des orifices de sortie. Dans une réalisation, ce collecteur comporte une assise (12), une plaque de pression (14) et un bloc de montage (16) de brûleur sur lequel monter un brûleur micro-usiné (58). Les voies de passage pour fluide (50), dans l'assise du collecteur, sont conçues pour alimenter systématiquement en fluide le bloc de montage du brûleur du collecteur. Le fluide est alors acheminé par ces voies de passage (50) à destination du bloc de montage du brûleur. Ces voies de passage pour fluide convergent, tout en restant isolées les unes des autres, et elles constituent un réseau linéaire destiné à produire des courants linéaires de fluide. Dans une variante, ce collecteur pour brûleur peut comporter plusieurs éléments de collecteur empilés. Dans cette variante, ces éléments de collecteur sont conçus pour constituer un réseau linéaire de voies de passage pour fluide au sommet de la pile, ce qui augmente le nombre de ces voies de passage à chaque niveau de la pile plus proche du sommet. Dans une autre réalisation, on fabrique le collecteur pour brûleur par extrusion de matériau particulaire composite à travers une filière, de manière à obtenir un collecteur renfermant des voies de passage pour fluide. Ce collecteur extrudé possède, généralement, une section conique sur laquelle peut être monté un brûleur.
Dawson-Elli David F.
Fu Xiaodong
Hawtof Daniel W.
Kiefer William J.
Stone John III
Corning Incorporated
Gowling Lafleur Henderson Llp
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1512142