Cantilever mount for rotating cylindrical magnetrons

Details Cantilever mount for rotating cylindrical magnetrons Cantilever mount for rotating cylindrical magnetrons

C - Chemistry, Metallurgy

23

C

C23C 14/35 (2006.01) C23C 14/34 (2006.01) H01J 37/34 (2006.01)

Patent

CA 2089147

An apparatus for rotatably mounting a cylindrical magnetron (10) in a vacuum chamber (12). The apparatus includes a bearing housing (32) having one end extending into the vacuum chamber with the other end located outside the chamber. A drive shaft (48) is rotatably mounted in the bearing housing. Eaeh end (48a, 48b) of the drive shaft (48) extends beyond the housing (32). The cylindrical magnetron (10) is attached to the end (48b) of the drive shaft inside the chamber. A vacuum seal (50) is located in the bearing housing for sealing the drive shaft (48) to the housing (32). The drive shaft (48) is mounted in the housing (32) such that the load of the magnetron (10) is not transferred to the vacuum seal (50).

Appareil permettant de monter rotatif un magnétron cylindrique (10) dans une chambre à vide (12). Ledit appareil comprend un logement du palier (32) dont la première extrémité s'étend dans la chambre à vide et dont la deuxième extrémité se situe à l'extérieur de ladite chambre. Un arbre d'entraînement (48) est monté rotatif dans le logement du palier. Chaque extrémité (48a, 48b) de l'arbre d'entraînement (48) s'étend au-delà du logement (32). Le magnétron cylindrique (10) est fixé à l'extrémité (48b) de l'arbre d'entraînement situé dans la chambre. Un joint d'étanchéité (50) se situe dans le logement de palier pour fixer hermétiquement l'arbre d'entraînement (48) sur le logement (32). L'arbre d'entraînement (48) est monté dans le logement (32) de manière à ce que la charge du magnétron (10) ne soit pas transmise au joint d'étanchéité (50).

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