Capacitive gap measurement device

Details Capacitive gap measurement device Capacitive gap measurement device

G - Physics

01

B

G01B 7/14 (2006.01) F02C 7/00 (2006.01)

Patent

CA 2244886

This invention provides a device for capacitively measuring the distance to an object, which comprises an electrode that will couple capacitively with the object, a shield (16) that surrounds the electrode (4) and is electrically isolated from the electrode by means of insulation (14, 18), and a layer of insulation that surrounds the shield, wherein the insulation between the electrode and the shield, and the insulation that surrounds the shield, are formed by deposition. This invention further provides a method for measuring the distance to a solid object, which comprises forming an electrode that will capacitively couple with the object, depositing a layer of insulation over at least part of the electrode so that the insulation surrounds the electrode, depositing a layer of metal (16) over the insulation to form a shield, and depositing a second layer of insulation over the shield.

Cette invention concerne un dispositif conçu pour la mesure par procédé capacitif de la distance à un objet. Ledit dispositif comporte une électrode servant au couplage capacitif avec l'objet, un écran (16) entourant l'électrode (4) et électriquement isolé de cette électrode par des organes isolants (14, 18) et une couche isolante entourant l'écran, la couche isolante disposée entre l'électrode et l'écran, d'une part, et la couche isolante entourant l'écran, d'autre part, étant obtenues au moyen d'un processus de dépôt. Cette invention concerne également un procédé de mesure de la distance à un objet solide, qui consiste à former une électrode servant au couplage capacitif avec l'objet, à déposer une couche isolante au-dessus d'une partie au moins de l'électrode de façon à ce que la couche isolante entoure l'électrode, à déposer une couche de métal (16) sur la couche isolante de façon à former un écran, et à déposer une seconde couche isolante au dessus de l'écran.

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