Capacitively coupled rf diamond-like-carbon reactor

Details Capacitively coupled rf diamond-like-carbon reactor Capacitively coupled rf diamond-like-carbon reactor

D - Textiles, Paper

06

M

D06M 11/74 (2006.01) C23C 16/26 (2006.01) C23C 16/54 (2006.01) D06M 10/02 (2006.01) D06M 10/06 (2006.01)

Patent

CA 2239014

A process of coating a non-conductive fiber with diamond-like carbon, including passing a non-conductive fiber between a pair of parallel metal grids within a reaction chamber, introducing a hydrocarbon gas into the reaction chamber, forming a plasma within the reaction chamber for a sufficient period of time whereby diamond-like carbon is formed upon the non-conductive fiber, is provided together with a reactor chamber for deposition of diamond-like carbon upon a non-conductive fiber, including a vacuum chamber, a cathode assembly including a pair of electrically isolated opposingly parallel metal grids spaced apart at a distance of less than about 1 centimeter, an anode, a means of introducing a hydrocarbon gas into said vacuum chamber, and a means of generating a plasma within said vacuum chamber.

La présente invention concerne un procédé permettant d'enrober de carbone diamantin une fibre non conductrice. Ce procédé consiste, dans une chambre de réaction, à faire passer une fibre non conductrice entre une paire de grilles métalliques parallèles, à introduire dans la chambre de réaction un hydrocarbure gazeux, à former dans la chambre de réaction un plasma pendant une durée suffisante durant laquelle du carbone diamantin se forme sur la fibre non conductrice. L'invention concerne également une chambre de réacteur permettant le dépôt de carbone diamantin sur une fibre non conductrice. Cette chambre se compose d'une chambre à vide, d'un ensemble cathode constitué d'une paire de grilles métalliques parallèles électriquement isolées et disposées face à face avec entre elles un intervalle inférieur à environ 1 centimètre, d'une anode, d'un organe d'introduction de l'hydrocarbure gazeux dans la chambre à vide, et d'un organe assurant la génération d'un plasma dans la chambre à vide.

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