C - Chemistry – Metallurgy – 04 – B
Patent
C - Chemistry, Metallurgy
04
B
C04B 37/00 (2006.01) B32B 18/00 (2006.01) C04B 35/44 (2006.01) C04B 35/581 (2006.01) H01L 21/68 (2006.01) H01L 21/683 (2006.01)
Patent
CA 2409373
A substrate-holding structure (1) for holding a substrate during the treatment of the substrate, which has a ceramic base article (2) for holding the substrate, a protective cylinder (7) joined to the ceramic base article (2), and a joining layer (8) which is disposed between the ceramic base article (2) and the protective cylinder (7) and joins the ceramic base article (2) and the protective cylinder (7), wherein the joining layer (8) contains a rare earth oxide, aluminum oxide and aluminum nitride in amounts of 2 to 70 mass %, 10 to 78 mass % and 2 to 50 mass %, respectively, provided that the joining layer (8) contains a rare earth oxide or an aluminum oxide in the largest amount among those of the above three components. The substrate-holding structure has excellent corrosion resistance, high gas-tightness and excellent dimensional accuracy, and also exhibits satisfactory durability even under mechanical or thermal stress.
L'invention concerne une structure de maintien de substrat (1) permettant de maintenir un substrat pendant le traitement du substrat. Cette structure comporte un article de base céramique (2) servant à maintenir le substrat, un cylindre de protection (7) assemblé à l'article de base céramique (2) et une couche d'assemblage (8) disposée entre l'article de base céramique (2) et le cylindre de protection (7), laquelle couche permet d'assembler l'article de base céramique (2) et le cylindre de protection (7). La couche d'assemblage (8) contient un oxyde des terres rares, de l'oxyde d'aluminium et du nitrure d'aluminium en quantités comprises entre 2 et 70 % en poids, 10 et 78 % en poids et 2 et 50 % en poids, respectivement, à la condition que la couche d'assemblage (8) contienne un oxyde des terres rares ou un oxyde d'aluminium en plus grande quantité parmi les trois composants mentionnés ci-dessus. La structure de maintien de substrat présente une remarquable résistance à la corrosion, une étanchéité aux gaz élevée et une remarquable précision dimensionnelle et présente également une durabilité satisfaisante, y compris sous contrainte mécanique ou thermique.
Kuibira Akira
Nakata Hirohiko
Natsuhara Masuhiro
Marks & Clerk
Sumitomo Electric Industries Ltd.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1972542