Characterizing circuit performance

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G - Physics

01

R

G01R 31/28 (2006.01) G01R 31/3185 (2006.01) G01R 31/3187 (2006.01)

Patent

CA 2548312

An integrated circuit (IC) includes multiple embedded test circuits that all include a ring oscillator coupled to a test load. The test load either is a direct short in the ring oscillator or else is a interconnect load that is representative of one of the interconnect layers in the IC. A model equation is defined for each embedded test circuit, with each model equation specifying the output delay of its associated embedded test circuit as a function of Front End OF the Line (FEOL) and Back End Of the Line (BEOL) parameters. The model equations are then solved for the various FEOL and BEOL parameters as functions of the test circuit output delays. Finally, measured output delay values are substituted in to these parameter equations to generate actual values for the various FEOL and BEOL parameters, thereby allowing any areas of concern to be quickly and accurately identified.

Cette invention concerne un circuit intégré comprenant de multiples circuits de contrôle qui sont tous assortis d'un oscillateur en anneau couplé à une charge témoin. La charge témoin est constituée soit par un court-circuit direct dans l'oscillateur en anneau, soit par une charge d'interconnexion correspondant à l'une des couches d'interconnexion du circuit intégré. Une équation type est définie pour chacun des circuits de contrôle internes, chaque équation précisant le retard de sortie du circuit de contrôle correspondant en tant que fonction de paramètres d'extrémité avant de la ligne (FEOL) et d'extrémité arrière de ligne (BEOL). Ces équations types sont ensuite résolues pour divers paramètres FEOL et BEOL en tant que fonction des retards de sortie des circuits de contrôle. Enfin, on substitue des valeurs de retard de sortie mesurée à ces équations de paramètre de manière à générer des valeurs réelles pour les divers paramètres FEOL et BEOL et à identifier du même coup toute zone d'intérêt, facilement et avec précision.

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