C - Chemistry – Metallurgy – 21 – B
Patent
C - Chemistry, Metallurgy
21
B
C21B 7/24 (2006.01) A61B 8/14 (2006.01)
Patent
CA 2624664
The present invention provides sensors based on micromachined ultrasonic transducer technology. The sensors preferably include a plurality of sensor elements, but may include only one sensor element. Arrays of sensors are also provided. Sensor elements include a functionalized membrane supported over a substrate by a support frame. The functionalized membrane, support frame and substrate together form a vacuum gap. The sensor element is connected to an electrical circuit, which is configured to operate the sensor element at or near an open circuit resonance condition. The mechanical resonance frequency of the functionalized membrane is responsive to binding of an agent to the membrane. Thus, the sensor element also includes a detector, where the detector provides a sensor output responsive to the mechanical resonance frequency of the sensor element.
La présente invention concerne des capteurs basés sur la technologie des transducteurs ultrasoniques micro-usinés. Les capteurs comprennent de préférence une pluralité d~éléments de capteurs, mais peuvent comprendre un seul élément de capteur. L~invention concerne également des matrices de capteurs. Les éléments de capteurs comprennent une membrane fonctionnalisée maintenue au-dessus d~un substrat par une structure de soutien. La membrane fonctionnalisée, la structure de soutien et le substrat forment ensemble un espace de dépression. L~élément de capteur est connecté à un circuit électrique, qui est configuré pour faire fonctionner l~élément de capteur dans une condition de résonance en circuit ouvert ou dans une condition proche. La fréquence de résonance mécanique de la membrane fonctionnalisée répond rapidement à la liaison d~un agent à la membrane. Ainsi, l~élément de capteur comprend également un détecteur, le détecteur émettant une sortie de capteur répondant rapidement à la fréquence de résonance mécanique de l'élément de capteur.
Gimzewski James K.
Khuri-Yakub Butrus T.
Quate Calvin F.
Bereskin & Parr Llp/s.e.n.c.r.l.,s.r.l.
The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1415674