Chemical vapor deposition system and method

Details Chemical vapor deposition system and method Chemical vapor deposition system and method

C - Chemistry, Metallurgy

23

C

C23C 16/00 (2006.01) C23C 16/44 (2006.01) C23C 16/54 (2006.01)

Patent

CA 2371353

A chemical vapor deposition (CVD) system is provided for processing a substrate (110). The system (100) includes a heater muffle (115), a chamber (120) having an injector assembly (130) for introducing chemical vapor to process the substrate (110), and a belt (105) for moving the substrate through the muffle and chamber. The belt (105) has an oxidation-resistant coating (175) to reduce formation of deposits thereon. The coating (175) is particularly useful for resisting formation of chromium oxides on belts made from a chromium-containing alloy. In one embodiment, the oxidation-resistant coating (175) comprises a securely-adhered oxide layer (185) that is substantially free of transition metals. Preferably, the oxidation-resistant coating (175) comprises aluminum oxide. More preferably, the coating (175) comprises an aluminum oxide layer (185) securely adhered over a nickel aluminide layer (180).

L'invention concerne un système de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) destiné au traitement d'un substrat (110). Ledit système (100) comprend un moufle (115) chauffé, une chambre (120) équipée d'un ensemble d'injection (130) destiné à l'introduction de la vapeur chimique en vue du traitement du substrat (110), et un tapis (105) permettant de déplacer le substrat à l'intérieur du moufle et de la chambre. Le tapis (105) est pourvu d'un revêtement (175) résistant à l'oxydation destiné à réduire la formation de dépôt sur le tapis. Le revêtement (175) est particulièrement utile pour éviter la formation d'oxydes de chrome sur les tapis constitués d'un alliage contenant du chrome. Selon un mode de réalisation, le revêtement (175) résistant à l'oxydation comprend une couche (15) d'oxyde, soudée solidement et sensiblement exempte de métaux de transition. De préférence, le revêtement (175) résistant à l'oxydation comprend de l'oxyde d'aluminium. Idéalement, ledit revêtement (175) comprend une couche (185) d'oxyde soudée solidement sur une couche (180) d'aluminure de nickel.

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