G - Physics – 02 – B
Patent
G - Physics
02
B
G02B 26/10 (2006.01) G02B 27/00 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01) H04N 1/047 (2006.01) H04N 1/10 (2006.01)
Patent
CA 2295549
In a light raster scanning system imaging a medium (40) located on a movable stage and using bidirectional scanning, i.e. scanning during stage movement in two opposing directions, the problem of chevron artifacts (angle errors), due to the different stage movement directions, is overcome by a system of reflective optics including two optical elements (14, 16) dynamically movable relative to one another. One (14) of the optical reflective elements (14, 16) is tilted or rotated relative to the other to compensate for the angle error causing the chevron artifacts. The amount of this tilt is dynamically altered depending on the direction of stage travel and also may be dynamically adjusted to maintain linearity of the scan pattern in spite of any other irregularities in stage velocity. Also an autofocus feature is provided, whereby the two reflective elements (14, 16) are moved relative to one another to dynamically alter the focus of the light beam (12) onto the medium (40) and hence overcome any defocus problems due to irregularities in the medium surface.
Dans un numériseur lumineux à balayage récurrent utilisant un balayage bidirectionnel pour numériser l'image d'un moyen (40) disposé sur une platine mobile (balayage effectué, par exemple, pendant le déplacement de la platine dans deux directions opposées), le problème des artéfacts de chevrons, (erreurs angulaires), dû au mouvement de la platine dans des directions différentes, est corrigé par un système de dispositifs optiques réfléchissants composés de deux éléments optiques (14, 16) pouvant être déplacés dynamiquement l'un par rapport à l'autre. Un des éléments optiques réfléchissants (14) est incliné ou orienté relativement à l'autre pour compenser l'erreur angulaire causant les artéfacts de chevrons. L'écart de cette inclinaison est modifié dynamiquement en fonction de la direction de déplacement de la platine. Cet écart peut aussi être réglé dynamiquement pour maintenir la linéarité du diagramme de balayage malgré d'autres irrégularités éventuelles dans la vitesse de la platine. On décrit en outre un dispositif de réglage automatique dans lequel les deux éléments optiques (14, 16) sont déplacés l'un relativement à l'autre pour modifier dynamiquement la focalisation du faisceau lumineux (12) incident sur ledit moyen (40), et corriger ainsi les éventuels problèmes de défocalisation causés par des irrégularités à la surface du moyen.
Tamkin John M.
Yao Shi-Kay
Etec Systems Inc.
Smart & Biggar
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1629305