H - Electricity – 01 – J
Patent
H - Electricity
01
J
H01J 3/26 (2006.01) A61M 1/14 (2006.01) G21K 1/08 (2006.01) H01J 3/12 (2006.01) H01J 23/08 (2006.01) H01J 29/58 (2006.01) H01J 37/145 (2006.01) H01J 37/153 (2006.01)
Patent
CA 2188997
A particle-beam column comprising a needle-type ions source (1) such as a liquid metal ion source, one or more round lenses (2), and a plurality of interleaved quadrupole lenses (14, 16). Also an ion-beam column comprising a liquid alloy ion source (1), interleaved quadrupole lenses (14, 16), and a Wien velocity filter (22). Such columns produce a more finely focused beam than columns based only on electrostatic lenses, and allow increased lens apertures and larger beam currents.
La présente invention concerne une colonne à faisceau de particules comprenant une source d'ions (1) de type à aiguille telle qu'une source d'ions de métal liquide, une ou plusieurs lentilles rondes (2), et une pluralité de lentilles quadrupôles intercalées (14, 16). L'invention concerne également une colonne à faisceau ionique comprenant une source d'ions (1) d'alliage liquide, des lentilles quadrupôles intercalées (14, 16), et un filtre de vitesse à effet Wien (22). Grâce à ce type de colonne, il est possible, non seulement d'obtenir un faisceau plus finement focalisé que dans le cas des colonnes n'utilisant que des lentilles électrostatiques, mais également d'accroître les ouvertures des lentilles et d'utiliser des courants de faisceaux plus importants.
Martin Frederick Wight
Na
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1445909