B - Operations – Transporting – 05 – D
Patent
B - Operations, Transporting
05
D
B05D 1/40 (2006.01) B05C 5/02 (2006.01) B05C 11/08 (2006.01) B05D 1/00 (2006.01)
Patent
CA 2379337
A method of forming a circular or annular coating film on a substrate (W) using a device of simple structure without using coating liquid wastefully, comprising the steps of, using a painting device (A) formed of a rotatable table (1) suckingly holding the substrate (W) horizontally and a horizontally movable nozzle (10) liftable relative to the table (1) and having a delivery hole (10a) at the tip part thereof, rotating the table (1) and supplying coating liquid from the delivery hole (10a) in a linear state on to the substrate (W) while moving the nozzle (10) by a specified interval between the rotating center of the table (1) and an outward specified position in one direction with the nozzle (10) held at a specified height relative to the rotating table (1) so as to form a circular or annular coating film on the substrate (W).
Ce procédé de formation d'une couche mince circulaire ou annulaire, sur un substrat (W), à l'aide d'un dispositif de conception simple, sans gâchis de liquide de revêtement, comprend les étapes suivantes consistant: à utiliser un dispositif de peinture (A) monté sur une table rotative (1) laquelle retient horizontalement et par aspiration le substrat (W), ainsi qu'une buse mobile horizontalement, réglable en hauteur par rapport à la table (1) et comportant un trou d'éjection (10a) au niveau de son embout, à faire tourner la table (1) et à appliquer, sur le substrat (W), à partir du trou d'éjection (10a), un liquide de revêtement à l'état linéaire, tout en déplaçant la buse (10) d'une distance déterminée entre le centre tournant de la table (1) et une position extérieure définie de celle-ci, dans une certaine direction, la buse (10) étant maintenue à une hauteur déterminée par rapport à la table (1), de manière à former une mince couche de revêtement circulaire ou annulaire sur le substrat (W).
Chugai Ro Co. Ltd.
Kirby Eades Gale Baker
Yokoyama Takuya
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1464906