Coatings with a silver layer

C - Chemistry – Metallurgy – 23 – C

Patent

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Details

C23C 14/08 (2006.01) C03C 17/36 (2006.01) C23C 14/00 (2006.01) C23C 14/34 (2006.01)

Patent

CA 2294991

The invention relates to a process for the production of a thin-layer system with a transparent silver layer by means of magnetron cathode sputtering, where between the substrate and the silver layer is arranged a lower antireflection layer, which comprises a titanium oxide layer applied directly onto the substrate, and preferably a zinc oxide layer contiguous to the silver layer. To allow for the achievement of silver layers of extremely high specific electrical conductivity the 15-50 nm thick titanium oxide layer is applied by means of medium-frequency sputtering from two titanium cathodes in an oxygen-containing atmosphere onto the substrate and a 2-18 nm thick zinc oxide layer is applied directly onto the titanium oxide layer. The invention is additionally directed to glass panes, including double glazing panes, with such coatings.

L'invention concerne un procédé pour la production d'un système en couche mine, avec une couche d'argent transparente par pulvérisation cathodique magnétron. Selon ce procédé une couche antireflet inférieure est placée entre le substrat et la couche d'argent. Cette couche antireflet comprend une couche d'oxyde de titane appliquée directement sur le substrat et, de préférence, une couche d'oxyde de zinc contiguë à la couche d'argent. Pour obtenir des couches d'argent présentant une conductivité électrique spécifique particulièrement élevée, une couche d'oxyde de titane de 15-50 nm d'épaisseur est appliquée par pulvérisation moyenne fréquence à partir de deux cathodes de titane dans une atmosphère contenant de l'oxygène sur le substrat et une couche d'oxyde de zinc de 2-18 nm est directement appliquée sur la couche d'oxyde de titane. L'invention concerne aussi des vitres, y compris des doubles vitrages, pourvus de ces revêtements.

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