G - Physics – 01 – L
Patent
G - Physics
01
L
G01L 21/34 (2006.01) H01J 41/06 (2006.01)
Patent
CA 2499729
The invention relates to a cold-cathode ionisation manometer for measuring pressure in a vacuum, said manometer operating according to the inverse magnetron principle and being used to measure pressures in fine vacuums, high vacuums, and ultrahigh vacuums (preferably between 10 Pa and 1 Pa). The aim of the invention is to reduce the contamination tendency and thus to extend the service life of said measuring tubes. To this end, a measuring tube comprising two separately controlled cathodes (K1, K2) and a common anode (A), enabling two independent discharges to be ignited inside the same, is used. While a discharge (K1) which is directly localised at the inlet of the measuring tube takes on the function of a gas purification device in which plasma-chemical dissociation reactions enable vapours contaminated by hydrocarbons or other substances entering into the measuring tube to be cracked or polymerised, a second discharge chamber (K2) inserted into the measuring tube housing (MRG) and protected by a gas discharge path (K1) operates as an intrinsic measuring chamber. Only the discharge current flowing out of said discharge area (K2) is evaluated and is used to measure the pressure. Said special double-chamber measuring tube geometry enables the plasma to burn in the integral measuring chamber (K2) under optimum conditions of cleanliness, thus enabling the service life of the measuring tube to be extended.
La présente invention concerne un manomètre à ionisation à cathode froide qui sert à mesurer des pressions dans le domaine des basses pressions, ledit manomètre fonctionnant selon le principe du magnétron inverse et étant utilisé pour la mesure de pressions de l'ordre du vide poussé, du vide très poussé, et de l'ultravide (de préférence entre 10 Pa et 1 Pa). La tendance à la contamination doit être limitée, afin de prolonger la durée de vie de ces tubes de mesure. A cet effet, on utilise un tube de mesure qui est équipé de deux cathodes (K1, K2) commandées séparément et d'une anode commune (A), ce qui permet à deux décharges indépendantes d'être allumées dans son espace interne. Alors qu'une décharge (K1) localisée directement à l'entrée du tube de mesure remplit la fonction d'un dispositif de purification gazeuse dans lequel des réactions de dissociation plasma-chimiques permettent la polymérisation ou le craquage de vapeurs contaminées par des hydrocarbures ou autres substances qui entrent dans le tube de mesure, une seconde chambre de décharge (K2) mise en place dans le boîtier (MRG) du tube de mesure et protégée par une trajectoire de décharge de gaz (K1), sert de chambre de mesure effective. Seul le courant de décharge qui circule depuis cette zone de décharge (K2) est évalué et utilisé pour la mesure de pression. Cette géométrie particulière de tube de mesure à chambre double permet au plasma de subir une combustion dans des conditions de propreté optimales dans la chambre de mesure effective (K2), et ainsi d'obtenir un tube de mesure qui a une durée de vie supérieure.
Edelmann Christian
Wilfert Stefan
Edelmann Christian
Otto-Von-Guericke-Universitaet Magdeburg
Smart & Biggar
Wilfert Stefan
LandOfFree
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