H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 31/00 (2006.01) H01L 31/18 (2006.01)
Patent
CA 2283334
The invention relates to improved techniques for manufacturing columnar- grained polycrystalline sheets which have particular utility as substrates or wafers for solar cells. The sheet is made from silicon on a setter material (100) which supports the silicon material (200). The setter material (100) and silicon (200) are subjected to a thermal profile all of which promote columnar growth. The thermal profile sequentially creates a melt region (300) where a thin-film capping layer grows at the top of the silicon, a nucleation region (400) where preferential nucleation occurs at the capping-layer/molten-silicon interface, and then a growth region where both liquid and a growing polycrystalline sheet layer coexist. An annealing region (500) is created where the temperature of the grown polycrystalline silicon sheet layer (600) is controllably reduced to effect stress relief.
La présente invention se rapporte à des perfectionnements concernant des techniques de fabrication de feuilles polycristallines à grain columnaire particulièrement destinées à servir de substrat ou de plaquettes pour cellules photovoltaïques. Cette feuille est faite de silicium (200) reposant sur un support d'enfournement (100). Le support d'enfournement (100) et le silicium (200) sont soumis à un profilage thermique dont la totalité favorise la croissance columnaire. Ce profilage thermique crée, d'abord une zone fusionnelle (300) dans laquelle une couche de coiffe à film mince croît au-dessus du silicium, puis une zone de nucléation (400) dans laquelle se produit une nucléation préférentielle au niveau de l'interface entre la couche de coiffe et le silicium en fusion, et enfin une zone de croissance dans laquelle coexistent le liquide et une couche à feuille polycristalline de croissance. Une zone d'annelage (500) se crée aux endroits où la température de la couche à feuille polycristalline après croissance (600) est réduite de manière contrôlable de façon à obtenir une libération des contraintes.
Barnett Allen M.
Checchi Joseph C.
Collins Sandra R.
Ford David H.
Hall Robert B.
Astropower Inc.
Borden Ladner Gervais Llp
Corning Incorporated
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1597107