F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons – 04 – B
Patent
F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons
04
B
F04B 37/08 (2006.01) F04B 37/02 (2006.01)
Patent
CA 2250453
A combination cryopump/getter pump (50) including a cryopump section (52) having a cryopump inlet (76), a getter pump section (54) having a getter pump inlet (86), and a mechanism (60) for coupling the cryopump section (52) and the getter pump section (54) to a single port (58) of a process chamber to be evacuated. Preferably, a cylindrical getter pump section (54) surrounds a cylindrical cryopump section (52). Preferably, the cryopump section (52) and the getter pump section (54) are coupled to the common port (58) of the process chamber by a gate valve mechanism (60). In one embodiment, the gate valve mechanism (60) isolates the cryopump inlet (76) and the getter pump inlet (86) when in a closed position. In another embodiment, the gate valve mechanism (60) does not isolate the cryopump inlet (76) and the getter pump inlet (86) when in a closed position. Preferably, thermal insulation (78) is provided between the getter pump section (54) and the cryopump section (52) to thermally isolate the two sections. The cryopump section preferably includes both a 15 ~K array (72) and an 80 ~K array (70a-d).
L'invention concerne une combinaison de cryopompe et de pompe getter (50) comprenant une partie cryopompe (52) munie d'une entrée (76) cryopompe, une partie pompe getter (54) munie d'une entrée (86) pompe getter et un mécanisme (60) servant à coupler la partie cryopompe (52) et la partie pompe getter (54) à une ouverture commune (58) d'une chambre de production à évacuer. De préférence, une partie pompe getter cylindrique (54) entoure une partie cryopompe cylindrique (52). De préférence, la partie cryopompe (52) et la partie pompe getter (54) sont couplées à l'ouverture commune (58) de la chambre de production par un mécanisme (60) de vanne d'arrêt. Dans un mode de réalisation, le mécanisme (60) de vanne d'arrêt isole l'entrée (76) de la cryopompe et l'entrée (86) de la pompe getter en position fermée. Dans un autre mode de réalisation, le mécanisme (60) de vanne d'arrêt n'isole pas l'entrée (76) de la cryopompe et l'entrée (86) de la pompe getter en position fermée. De préférence, une isolation thermique (78), placée entre la partie pompe getter (54) et la partie cryopompe (52), isole thermiquement ces deux parties. La partie cryopompe comprend de préférence un ensemble (72) à 15 ·K et un ensemble (70a-d) à 80 ·K.
Saes Pure Gas Inc.
Smart & Biggar
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1584861