G - Physics – 03 – F
Patent
G - Physics
03
F
G03F 7/00 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01)
Patent
CA 2681443
An apparatus for use in fabricating structures and depositing materials from tips to surfaces for patterning in direct-write mode, providing ability to travel macroscopic distances and yet provide for nanoscale patterning. Useful in small scale fabrication and nanolithography. The instrument can be compact and used on a laboratory bench or desktop. An apparatus comprising: at least one multi-axis assembly comprising a plurality of nanopositioning stages, at least one pen assembly, wherein the pen assembly and the multi-axis assembly are adapted for delivery of material from the pen assembly to a substrate which is positioned by the multi-axis assembly, at least one viewing assembly, at least one controller. Nanopositioning by piezoelectric methods and devices and motors is particularly useful. The apparatus can include integrated environmental chambers and housings, as well as ink reservoirs for materials to be delivered. The viewing assembly can be a microscope with a long working distance. Particularly useful for fabrication of bioarrays or microarrays. The multi-axis assembly can be a five-axis assembly. Software can facilitate efficient usage.
L'invention concerne un appareil utilisé dans la fabrication de structures et le dépôt de matériaux d'extrémité vers des surfaces pour la formation en motif dans un mode d'écriture direct, permettant une capacité de déplacement sur des distances macroscopiques et fournissant cependant une formation en motif à l'échelle du nanomètre. L'appareil est utile dans une application à petite échelle et dans la nanolithographie. L'appareil peut être compact et utilisé sur une table de laboratoire ou un bureau. L'appareil comporte au moins un ensemble multiaxial comprenant une pluralité de stades de nanopositionnement; au moins un ensemble de stylo où l'ensemble de stylo et l'ensemble multiaxial sont adaptés pour délivrer le matériau de l'ensemble de stylo sur un substrat positionné par l'ensemble multiaxial; au moins un ensemble de visualisation; au moins un contrôleur. Le nanopositionnement par procédés piézoélectriques, et dispositifs et moteurs est particulièrement utile. L'appareil peut comprendre des chambres et des logements environnementaux intégrés ainsi que des réservoirs d'encre pour matériaux à délivrer. L'ensemble de visualisation peut être un microscope avec une longue distance de travail. Ledit ensemble est particulièrement utile pour la fabrication de bioréseaux ou de microréseaux. L'ensemble multiaxial peut être un ensemble de cinq axes. Un logiciel peut rendre l'utilisation plus efficace.
Amro Nabil A.
Bussan John Edward
Fragala Joseph S.
Nelson Michael
Rozhok Sergey V.
Bereskin & Parr Llp/s.e.n.c.r.l.,s.r.l.
Nanoink Inc.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-2012188