H - Electricity – 01 – J
Patent
H - Electricity
01
J
H01J 37/141 (2006.01)
Patent
CA 2238357
A composite magnetic lens and deflector for particle beam optical systems has a concentric gap and concentric conical lower pole pieces arranged to allow more accurate magnetic deflection. The flux generated by a solenoidal lens coil is shared by magnetically soft inner and higher saturation flux outer pole pieces to minimize saturation effects, while the flux generated by internal deflection coils is confined to magnetically soft inner pole pieces that minimize flux leakage and associated eddy current settling efffects. Shielding rings further contain leakage flux. The inner magnetic circuit is mounted and adhesively bonded to radial flexures to minimize thermal expansion drifts.
L'invention concerne un ensemble lentille-déflecteur magnétique composite, qui est destiné à des systèmes optiques à faisceaux de particules et qui comprend un fossé concentrique et des pièces polaires inférieures coniques concentriques disposées de façon à obtenir une déflexion magnétique plus précise. Le flux généré par une bobine de lentille à solénoïde est commun à des pièces polaires intérieures magnétiquement molles et des pièces polaires extérieures de flux à saturation élevée, de façon à réduire au minimum les effets de saturation. Le flux généré par des bobines de déflexion intérieures est confiné à des pièces polaires intérieures magnétiquement molles qui réduisent au minimum les fuites de flux et les effets de décantation du courant tourbillonnaire qui y sont associés. Des anneaux de protection contiennent en outre un flux de fuite. Le circuit magnétique intérieur est monté et fixé adhésivement à des nervures radiales de façon à réduire au minimum des dérives d'expansion thermique.
Devore William J.
Veneklasen Lee H.
Etec Systems Inc.
Smart & Biggar
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1764374