H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 33/00 (2010.01) H01L 21/38 (2006.01) H01S 5/10 (2006.01) H01S 5/183 (2006.01)
Patent
CA 2576160
A conductive element with a lateral oxidation barrier is provided for the control of lateral oxidation processes in semiconductor devices such as lasers, vertical cavity surface emitting lasers and light emitting diodes. The oxidation barrier is formed through modification of one or more layers which initially were receptive to oxidation. The quality of material directly below the oxidation barrier may be preserved. Related applications include the formation of vertical cavity surface emitting lasers on non-GaAs substrates and on GaAs substrates.
Divulgation d'un élément conducteur comportant une barrière d'oxydation latérale pour le contrôle de processus d'oxydation latérale dans des dispositifs semiconducteurs comme des lasers, des lasers à cavité verticale à émission par la surface et des diodes électroluminescentes. La barrière d'oxydation est obtenue par modification d'une ou plusieurs couches qui étaient initialement réceptives à l'oxydation. La qualité du matériau se trouvant directement sous la barrière d'oydation peut être préservée. Parmi les applications, on retrouve la formation de lasers à cavité verticale à émission par la suface sur des substrats de type non-GaAs et sur des substrats de type GaAs.
Jds Uniphase Corporation
Picolight Incorporated
Teitelbaum & Maclean
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1456225