H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 21/31 (2006.01) H01S 5/183 (2006.01) H01S 5/20 (2006.01) H01S 5/22 (2006.01)
Patent
CA 2240162
A conductive element with a lateral oxidation barrier is provided for the control of lateral oxidation processes in semiconductor devices such as lasers, vertical cavity surface emitting lasers and light emitting diodes. The oxidation barrier is formed through modification of one or more layers which initially were receptive to oxidation. The quality of material directly below the oxidation barrier may be preserved. Related applications include the formation of vertical cavity surface emitting lasers on non-GaAs substrates and on GaAs substrates.
Elément conducteur (50) pourvu d'une barrière d'oxydation latérale et servant à commander des processus d'oxydation latérale dans des composants à semi-conducteurs, tels que des lasers, des lasers à cavité verticale et à émission par la surface et des diodes luminescentes. La barrière d'oxydation est constituée par modification d'une ou de plusieurs couches initialement sensibles à l'oxydation. La qualité du matériau (26) situé directement au-dessous de la barrière d'oxydation peut être préservée. Des mises en applications apparentées consistent à créer des lasers à cavité verticale et à émission par la surface sur des substrats de GaAs et autres que GaAs.
Jds Uniphase Corporation
Picolight Incorporated
Teitelbaum & Maclean
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1514753