Configurable vacuum system and method

Details Configurable vacuum system and method Configurable vacuum system and method

H - Electricity

01

J

H01J 37/32 (2006.01) C23C 14/26 (2006.01) C23C 14/32 (2006.01) C23C 14/50 (2006.01) H01J 37/16 (2006.01)

Patent

CA 2410352

An exemplary configurable vacuum system and method are provided for use in coating or plating that provides the capability to handle substrates of significantly different shapes and sizes. The configurable vacuum system includes a vacuum table assembly and a vacuum chamber. The vacuum table assembly may include a support frame, an insulated surface, a mechanical drive mounted to the support frame, an electrical feed through mounted to the support frame, a filament positioned above the insulated surface between a first filament conductor and a second filament conductor, a filament power connector electrically coupled to the first filament conductor through a first filament power contact pad of the filament power connector and to the second filament conductor through a second filament power contact pad of the filament power connector, and a platform operable to support the substrate. The vacuum chamber may include a vacuum chamber having a main opening at a door, a wall that defines an interior volume, a filament power connector, an electrical feed through connector, a mechanical drive connector, a railing operable to receive and support the vacuum table assembly within the internal volume of the vacuum chamber. The various connectors of the vacuum table assembly and vacuum chamber may automatically couple with one another.

L'invention concerne un système et un procédé d'aspiration exemplaires configurables qui sont destinés à des fins de revêtement ou de métallisation et qui permettent de manipuler des substrats de formes et de tailles sensiblement différentes. Ce système d'aspiration configurable comporte un ensemble table d'aspiration et une chambre à vide. Ledit ensemble table d'aspiration peut comporter un cadre de support, une surface isolée, un entraînement mécanique monté sur le cadre de support, une traversée électrique montée sur le cadre de support, un filament disposé au-dessus de la surface isolée entre un premier conducteur de filaments et un second conducteur de filaments, un connecteur d'alimentation de filaments couplé électriquement au premier conducteur de filaments via un premier plot de contact de filaments du connecteur d'alimentation de filaments et au second conducteur de filaments via un second plot de contact de filaments du connecteur d'alimentation de filaments et une plate-forme destinée à supporter le substrat. La chambre à vide peut comporter une chambre à vide pourvue d'une porte comme entrée principale, d'une paroi qui définit un volume intérieur, d'un connecteur d'alimentation de filaments, d'un connecteur de traversée électrique, d'un connecteur d'entraînement mécanique, d'une rampe destinée à recevoir et supporter l'ensemble table d'aspiration dans le volume intérieur de la chambre à vide. Les différents connecteurs de l'ensemble table d'aspiration et de la chambre d'aspiration peuvent automatiquement se coupler les uns avec les autres.

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