Controlled sulfur species deposition process

Details Controlled sulfur species deposition process Controlled sulfur species deposition process

C - Chemistry, Metallurgy

09

K

C09K 11/08 (2006.01) C09K 11/77 (2006.01) C09K 11/84 (2006.01) C23C 14/00 (2006.01) C23C 14/06 (2006.01) C23C 14/30 (2006.01) C23C 14/54 (2006.01) H05B 33/14 (2006.01)

Patent

CA 2512395

The present invention is a method for the deposition of a thin film of a pre- determined composition onto a substrate, the thin film comprising ternary, quaternary or higher sulfide compounds selected from the group consisting of thioaluminates, thiogallates and thioindates of at least one element from Groups IIA and IIB of the Periodic Table. The method comprises volatizing at least one source material of a sulfide of a pre-determined composition to form a sulfur-bearing thin film composition on a substrate and simultaneously inhibiting any excess quantity of sulfur-bearing species volatilized from the at least one source material from impinging on the substrate. The method improves the luminance and emission spectrum of phosphor materials used for full colour ac electroluminescent displays employing thick film dielectric layers with a high dielectric constant.

La présente invention concerne un procédé pour déposer un film mince d'une composition prédéfinie sur un substrat. Ledit film mince comprend des composés de sulfure ternaires, quaternaires ou supérieurs, choisis dans le groupe formé par des thioaluminates, des thiogallates et des thioindates d'au moins un élément des groupes IIA et IIB du tableau de classification périodique. Ledit procédé consiste à volatiliser au moins une matière source d'un sulfure de composition prédéfinie, afin de former une composition de film mince portant du soufre sur un substrat, et à simultanément empêcher tout excès d'espèces portant du soufre volatilisées à partir de la matière source d'entrer en contact avec le substrat. Ce procédé permet d'améliorer la luminance et le spectre d'émission de matières phosphorées utilisées dans des systèmes d'affichage électroluminescents en couleurs à courant alternatif mettant en oeuvre des couches de diélectrique à film épais présentant une constante diélectrique élevée.

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Profile ID: LFCA-PAI-O-1597168