Coriolis mass flow controller

Details Coriolis mass flow controller Coriolis mass flow controller

G - Physics

01

F

G01F 1/84 (2006.01) G05D 7/06 (2006.01)

Patent

CA 2354697

A Coriolis mass flow sensor includes a flow sensor tube, a drive device situated relative to the flow sensor tube so as to cause the flow sensor tube to vibrate, and pick off sensors situated relative to the flow sensor tube so as to measure the twist in the flow sensor tube due to Coriolis force. A capacitive pick off sensor is disclosed that includes at least one conductive plate connectable to a first voltage potential and adapted to be situated adjacent the flow sensor tube which is connected to a second voltage potential. The conductive plate is positioned relative to the flow sensor tube so as to define a gap therebetween. The capacitance between the conductive plate and the flow sensor tube varies due to the relative motion of the conductive plate and the flow sensor tube when the flow sensor tube is vibrated. Electromagnetic, electrostatic, acoustic, and/or piezoelectric drives may be used to vibrate the flow sensor tube. The Coriolis mass flow controller may further include an integrated flow control device adapted to receive fluid from the flow sensor tube and provide flow control.

Un détecteur de flux massique comporte un tube détecteur de flux, un dispositif d'entraînement placé, par rapport audit tube, de façon à faire vibrer ledit tube, et des capteurs placés, par rapport audit tube, de façon à mesurer le roulis dans ledit tube dû à la force de Coriolis. Un capteur capacitif comprend au moins une plaque conductrice reliée à un premier potentiel de tension et conçue pour jouxter ledit tube qui relié à un second potentiel de tension. Ladite plaque est positionnée, par rapport audit tube, de façon à définir une distance entre les deux. La capacité entre la plaque conductrice et le tube détecteur de flux varie en fonction du mouvement de ladite plaque par rapport audit tube lorsque ce dernier se met à vibrer. Pour faire vibrer le tube détecteur de flux, on peut utiliser des dispositifs d'entraînement électromagnétique, électrostatique, acoustique et/ou piézo-électrique. Le régulateur de flux massique de type Coriolis peut comporter également un dispositif régulateur de flux intégré conçu pour recevoir le fluide provenant du tube détecteur de flux et assurer la commande de débit.

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