G - Physics – 02 – B
Patent
G - Physics
02
B
G02B 6/26 (2006.01) G02B 6/32 (2006.01)
Patent
CA 2708767
A plasma-based etching process is used to specifically shape the endface of an optical substrate supporting an optical waveguide into a contoured facet which will improve coupling efficiency between the waveguide and a free space optical signal. The ability to use standard photolithographic techniques to pattern and etch the optical endface facet allows for virtually any desired facet geometry to be formed - and replicated across the surface of a wafer for the entire group of assemblies being fabricated. A lens may be etched into the endface using a properly-defined photolithographic mask, with the focal point of the lens selected with respect to the parameters of the optical waveguide and the propagating free space signal. Alternatively, an angled facet may be formed along the endface, with the angle sufficient to re-direct reflected/scattered signals away from the optical axis.
L'invention porte sur un procédé de gravure à base de plasma, qui est utilisé pour façonner spécifiquement la face d'extrémité d'un substrat optique supportant un guide d'ondes optiques en une facette profilée qui améliorera l'efficacité de couplage entre le guide d'ondes et un signal optique d'espace libre. La capacité d'utilisation de techniques photo-lithographiques standard pour former un motif et graver la facette de face d'extrémité optique permet à presque n'importe quelle géométrie de facette désirée d'être formée - et répliquée à travers la surface d'une tranche du groupe entier d'ensembles qui sont fabriqués. Une lentille peut être gravée dans la face d'extrémité à l'aide d'un masque photo-lithographique correctement défini, avec le point focal de la lentille choisi par rapport aux paramètres du guide d'ondes optiques et du signal d'espace libre se propageant. En variante, une facette inclinée peut être formée le long de la face d'extrémité, l'angle étant suffisant pour rediriger des signaux réfléchis/diffusés/à l'opposé de l'axe optique.
Gothoskar Prakash
Nadeau Mary
Patel Vipulkumar
Piede David
Webster Mark
Borden Ladner Gervais Llp
Lightwire Inc.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1459533